【図1】本発明の第１光電変換素子の概略を説明する模式的平面図（上面図）である。

【図2】図１のＡ−Ａ方向から見た第１光電変換素子の概略構造を説明する模式的な断面図である。

【図3】本発明の第１光電変換素子の動作を説明するタイミング図である。

【図4】本発明の第１光電変換素子のゲート信号を整形する回路を説明するタイミング図である。

【図5】本発明の第１光電変換素子の動作を説明する模式的平面図（上面図）である。

【図6】図５のＢ−Ｂ方向から見た第１実施形態の変形例に係る光電変換素子の伝導帯の下端部（底部）のポテンシャル分布を示す図である。

【図7】図５のＣ−Ｃ方向から見た第１実施形態の変形例に係る光電変換素子の伝導帯の下端部（底部）のポテンシャル分布を示す図である。

【図8】本発明の第１固体撮像装置の半導体チップ上のレイアウトの概略を説明する模式的平面図である。

【図9】図８に示した固体撮像装置に用いられている画素の内部構造の概略を説明する模式的平面図である。

【図10】本発明の第１実施形態の第１変形例に係る光電変換素子の概略を説明する模式的平面図（上面図）である。

【図11】図１０のＤ−Ｄ方向から見た第１実施形態の第１変形例に係る光電変換素子の概略構造を説明する模式的な断面図である。

【図12】図１０のＤ−Ｄ方向から見た第１実施形態の第１変形例に係る光電変換素子の伝導帯の下端部（底部）のポテンシャル分布を示す図である。

【図13】本発明の第１実施形態の第２変形例に係る光電変換素子の概略を説明する模式的平面図（上面図）である。

【図14】本発明の第１実施形態の第３変形例に係る光電変換素子の概略を説明する模式的平面図（上面図）である。

【図15】図１４のＥ−Ｅ方向から見た第１実施形態の第３変形例に係る光電変換素子の概略構造を説明する模式的な断面図である。

【図16】本発明の第１実施形態の第３変形例に係る光電変換素子の動作を説明するタイミング図である。

【図17】図１７（a）は、図１４のＥ−Ｅ方向から見た第１実施形態の第３変形例に係る光電変換素子の、電荷転送時における、伝導帯の下端部（底部）のポテンシャル分布を示す図であり、図１７（ｂ）は、図１４のＦ−Ｆ方向から見た第１実施形態の変形例に係る光電変換素子の伝導帯の下端部（底部）のポテンシャル分布を示す図である。

【図18】図１８（a）は、図１４のＥ−Ｅ方向から見た第１実施形態の第３変形例に係る光電変換素子の、背景光電荷の排出時における、伝導帯の下端部（底部）のポテンシャル分布を示す図であり、図１８（ｂ）は、図１４のＦ−Ｆ方向から見た第１実施形態の変形例に係る光電変換素子の伝導帯の下端部（底部）のポテンシャル分布を示す図である。

【図19】本発明の第１実施形態の第３変形例に係る固体撮像装置に用いられている画素の内部構造の概略を説明する模式的平面図である。

【図20】本発明の第１実施形態の第４変形例に係る光電変換素子の概略を説明する模式的平面図（上面図）である。

【図21】第１実施形態の第４変形例に係る光電変換素子の撮像領域の上方から見たＸ−Ｙ面内の等電位線と、この等電位線の電位分布によって設定される電子の電荷輸送路を示す図である。

【図22】本発明の第２光電変換素子の概略を説明する模式的平面図（上面図）である。

【図23】図２２のＧ−Ｇ方向から見た第２光電変換素子の概略構造を説明する模式的な断面図である。

【図24】図２２のＩ−Ｉ方向から見た第２光電変換素子の概略構造を説明する模式的な断面図である。

【図25】図２５（a）は、図２２のＧ−Ｇ方向から見た第２光電変換素子の伝導帯の下端部（底部）のポテンシャル分布を示す図であり、図２５（ｂ）は、図２２のＨ−Ｈ方向から見た第２光電変換素子の伝導帯の下端部（底部）のポテンシャル分布を示す図であり、図２５（ｃ）は、図２２のＩ−Ｉ方向から見た第２光電変換素子の伝導帯の下端部（底部）のポテンシャル分布を示す図である。

【図26】本発明の第２実施形態の第１変形例に係る光電変換素子の概略を説明する模式的平面図（上面図）である。

【図27】第２実施形態の第１変形例に係る光電変換素子の撮像領域の上方から見たＸ−Ｙ面内の等電位線と、この等電位線の電位分布によって設定される電子の電荷輸送路を示す図である。

【図28】図２７の等電位線の一部を拡大して示す図である。

【図29】第２実施形態の第１変形例に係る光電変換素子の伝導帯の下端部（底部）のポテンシャル分布を３次元メッシュ構造で示す図である。

【図30】本発明の第２実施形態の第２変形例に係る光電変換素子の概略構造を説明する模式的な断面図である。

【図31】本発明の第２実施形態の第３変形例に係る光電変換素子の概略を説明する模式的平面図（上面図）である。

【図32】本発明の第２実施形態の第４変形例に係る光電変換素子の概略を説明する模式的平面図（上面図）である。