特開2022-130894IP Force 特許公報全文掲載

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この発明は、キトサン粒子と無機材料を含む複合粒子およびその製造方法、複合粒子を用いた研磨材および研磨材を含む研磨液に関するものである。

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】機能に優れた粒子を提供する。
【解決手段】複合粒子は、プラスの表面電荷を有するキトサン粒子と、マイナスの表面電荷を有し、前記キトサン粒子に担持された無機材料と、を備えている。例えば、複合粒子は、無機材料を含むと共にキトサンを溶解させた酸水溶液と、増粘剤と、水より沸点が高い有機溶媒と、を含む分散液を調製し、分散液を撹拌することで、無機材料およびキトサンを含む酸水溶液を液滴化し、分散液を加熱することで、酸水溶液の液滴から水分を蒸発させて得ることができる。
【選択図】図1

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

近年、マイクロビーズは、生分解性だけでなく、例えば精密研磨に用いるなど、別の機能を持つことが求められている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

前記課題を克服し、所期の目的を達成するため、本発明に係る複合粒子は、 キトサン粒子と、 前記キトサン粒子に担持された無機材料と、を備え、 前記無機材料は、前記キトサン粒子となるキトサンの表面電荷がプラスとなる所定のpHにある媒体に分散した場合に、該無機材料の表面電荷がマイナスになるものであることを要旨とする。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明に係る複合粒子によれば、キトサン粒子および無機材料に由来する複合した機能が得られる。
本発明に係る複合粒子の製造方法によれば、キトサン粒子および無機材料に由来する複合した機能を有する複合粒子を得ることができる。
本発明に係る研磨材によれば、研磨効率を向上することができる。
本発明に係る研磨液によれば、研磨効率を向上することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明に係る複合粒子を一部切り欠いて示す模式図である。
【図2】 本発明に係るキトサン粒子を構成するキトサンを示す構造式である。
【図3】 架橋したキトサンの一例を示す構造式である。
【図4】 複合粒子の製造過程を示す説明図である。
【図5】 複合粒子の製造過程を示す説明図である。
【図6】 実施例1の複合粒子を走査型電子顕微鏡で撮影した写真である。なお、倍率は1300倍である。
【図7】 実施例2の複合粒子を走査型電子顕微鏡で撮影した写真である。なお、倍率は300倍である。
【図8】 実施例3の複合粒子を走査型電子顕微鏡で撮影した写真である。なお、倍率は400倍である。
【図9】 実施例2の複合粒子および実施例4の複合粒子の赤外線吸収スペクトルを示す図である。
【図10】 実施例2の複合粒子および実施例4の複合粒子の沈降状態を対比した写真である。
【図11】 実施例5の複合粒子を走査型電子顕微鏡で撮影した写真である。なお、(a)の倍率は50倍であり、(b)の倍率は300倍である。
【図12】 実施例5の複合粒子のEDXマッピングである。
【図13】 試験例1の研磨液によって研磨したウェハを撮影した写真である。
【図14】 研磨液によって研磨する前のウェハを撮影した写真である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

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