特開 2022-191327出願番号 特願 2022-159991
表面弾性波素子用の複合基板およびその製造方法
公報発行日 2022年12月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-191327 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
圧電基板とサファイア基板とを接合した構造の表面弾性波素子用の複合基板および表面弾性波素子用の複合基板の製造方法
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】圧電基板と支持基板との接合強度が高く、接合面でのバルク波の反射を低減した表面弾性波素子用の複合基板を提供する。
【解決手段】本開示に係る表面弾性波素子用の複合基板は、素子形成面である第１面とその裏面である第２面とを有する圧電基板と、第２面と対向して配置される第３面とその裏面である第４面を有するサファイア基板と、第２面と対向する第５面と第３面と対向する第６面を有する。第２面と第３面を接合するアルミナ層とを備え、第３面の算術平均粗さＲａは０．１μｍ以上０．５μｍ以下である。第５面の算術平均粗さＲａは０．１μｍ以下であるとともに前記第３面の算術平均粗さＲａよりも小さい。
【選択図】図１
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本開示の一複合基板を示す概略断面図である。
【図2】
本開示の他の複合基板を示す概略断面図である。
【図3】
本開示に係る複合基板の製造方法の一実施形態を示す概略断面図である。
【図4】
本開示に係る複合基板の製造方法の他の実施形態を示す概略断面図である。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
１、１’：複合基板
２、２’：圧電基板
２ａ、２ａ’：第１面（素子形成面）
２ｂ、２ｂ’：第２面（圧電基板の裏面）
３、３’：サファイア基板
３ａ、３ａ’：第３面（サファイア基板の接合面）
３ｂ、３ｂ’：第４面（複合基板の裏面）
４：接合層
４ａ：第５面（接合層の圧電基板側表面）
４ｂ：第６面（接合層のサファイア基板側表面）
４’：アルミナ層（接合層）
４ａ’：第５面（アルミナ層の圧電基板側表面）
４ｂ’：第６面（アルミナ層のサファイア基板側表面）
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