発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

第１態様から第７態様によれば、推定モデルを介する制御パラメータの探索と、時間を要する膜厚の計測結果に基づく制御パラメータの探索とが交互に行われるため、膜厚の計測を減らしつつ、制御パラメータの最適化を効率よく行うことができる。また、推定モデルの入力にプロセス情報を含めることによって、異なるプロセスで得られた膜厚情報を教師データとして使用できる。このため、プロセス情報を入力することで、推定モデルの出力精度を向上させることができる。したがって、制御パラメータの最適化を精度よく行うことができる。

第２態様のパラメータ最適化装置によれば、最適化中に計測された塗布膜の膜厚情報を用いて学習を行うことにより、推定モデルの精度を向上させることができる。

第３態様のパラメータ最適化装置によれば、パラメータの最適化時間をさらに短縮できる。

第５態様のパラメータ最適化装置によれば、計測結果に基づく膜厚情報の評価値の分布と、推定モデルを介した膜厚情報の評価値の分布との間に差があったとしても、ベイズ最適化の探索をより効率的に行うことが可能となる。