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特開 2025-146449出願番号 特願 2024-47222
基板保持装置および基板処理装置
出願人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス（識別番号 207551）
2026年 特許公開件数ランキング 78位 238件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 51位 295件（※）
公報発行日 2025年10月3
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2025-146449 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】基板に対する処理内容に応じた適切な基板の保持を可能にする基板保持装置および基板処理装置を提供する。
【解決手段】スピンチャックＳＣは、スピンベース２０を有する。スピンベース２０の周縁部に、固定保持部３０Ａ，３０Ｂおよび可動保持部４０Ａ，４０Ｂが設けられている。可動保持部４０Ａ，４０Ｂは、スピンベース２０上に配置される基板Ｗの外周端部に接触する保持状態と、その基板Ｗから離間する解放状態とに移行可能に設けられている。マグネット昇降装置５０Ａは、昇降マグネット５９により可動保持部４０Ａの状態を切り替え可能に構成されている。マグネット昇降装置５０Ｂは、昇降マグネット５９により可動保持部４０Ｂの状態を切り替え可能に構成されている。制御部９００は、可動保持部４０Ａ，４０Ｂの状態を同時に切り替える制御と、可動保持部４０Ａ，４０Ｂの状態を異なる時間に切り替える制御とを選択して行う。
【選択図】図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、基板に対する処理内容に応じた適切な基板の保持が可能になる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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