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特開 2025-184166出願番号 特願 2024-92371
紫外線処理装置
出願人 東芝ライテック株式会社（識別番号 3757）
2026年 特許公開件数ランキング 152位 143件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 271位 68件（※）
公報発行日 2025年12月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2025-184166 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
紫外線処理装置
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】処理物に対する汎用性を向上させることができる紫外線処理装置を提供することである。
【解決手段】紫外線処理装置は、オゾンを含む雰囲気を維持可能なチャンバと；前記チャンバの内部に設けられた処理物に、ピーク波長が２５４ｎｍ以上、３２０ｎｍ以下の紫外線を照射する少なくとも１つの光源と；を具備している。
【選択図】図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明が解決しようとする課題は、処理物に対する汎用性を向上させることができる紫外線処理装置を提供することである。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
紫外線処理装置は、オゾンを含む雰囲気を維持可能なチャンバと；前記チャンバの内部に設けられた処理物に、ピーク波長が２５４ｎｍ以上、３２０ｎｍ以下の紫外線を照射する少なくとも１つの光源と；を具備している。
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の実施形態によれば、処理物に対する汎用性を向上させることができる紫外線処理装置を提供することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本紫外線処理装置を例示するための模式断面図である。
【図2】
他の紫外線処理装置を例示するための模式断面図である。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
１ 紫外線処理装置、２ チャンバ、３ 載置部、４ オゾン供給部、５ 光源、６ コントローラ、１１ 紫外線処理装置、１２ チャンバ、１３ 載置部、１５ 光源、５１ 紫外線、１００ 処理物、１５１ 紫外線
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