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公報発行日 2026年7月31
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-124752 ログイン済みの方はこのURLへ
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【課題】電気的特性が改善した半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、基板110と、基板上に配置されるチャンネル層132と、チャンネル層の上に配置される第1バリア層136aと、第1バリア層の上に配置される第2バリア層136bと、第2バリア層の上に配置され、第1バリア層及び第2バリア層の一部領域を貫通する第3バリア層136cと、第3バリア層の上に配置されるゲート電極155と、ゲート電極の両側に配置されるソース電極173及びドレイン電極175と、を有し、ソース電極及びドレイン電極は、第3バリア層の一部領域を貫通し、第2バリア層と一端が接続され、第2バリア層は、シリコンでドーピングされる。
【選択図】図2
本発明の半導体装置によれば、電気的特性が改善した半導体装置を提供することができる。
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