特開2026-124752IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

半導体装置に関し、特に、電気的特性が改善した半導体装置

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】電気的特性が改善した半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、基板110と、基板上に配置されるチャンネル層132と、チャンネル層の上に配置される第1バリア層136aと、第1バリア層の上に配置される第2バリア層136bと、第2バリア層の上に配置され、第1バリア層及び第2バリア層の一部領域を貫通する第3バリア層136cと、第3バリア層の上に配置されるゲート電極155と、ゲート電極の両側に配置されるソース電極173及びドレイン電極175と、を有し、ソース電極及びドレイン電極は、第3バリア層の一部領域を貫通し、第2バリア層と一端が接続され、第2バリア層は、シリコンでドーピングされる。
【選択図】図2

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明は従来の電力半導体装置における課題に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、電気的特性が改善した半導体装置を提供することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

目的を達成するためになされた本発明による半導体装置は、基板と、前記基板上に配置されるチャンネル層と、前記チャンネル層の上に配置される第1バリア層と、前記第1バリア層の上に配置される第2バリア層と、前記第2バリア層の上に配置され、前記第1バリア層及び前記第2バリア層の一部領域を貫通する第3バリア層と、前記第3バリア層の上に配置されるゲート電極と、前記ゲート電極の両側に配置されるソース電極及・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の半導体装置によれば、電気的特性が改善した半導体装置を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の実施形態による半導体装置の概略構成を示す平面図である。
【図2】 本発明の実施形態による半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【図3】 本発明の実施形態による半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【図4】 本発明の実施形態による半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【図5】 本発明の実施形態による半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【図6】 図6は、図5のA領域に対する拡大断面図である。
【図7】 本発明の実施形態による半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【図8】 本発明の実施形態による半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【図9】 図9は、図8のB領域に対する拡大断面図である。
【図10】 本発明の実施形態による半導体装置の製造工程を工程順に説明するための断面図である。
【図11】 本発明の実施形態による半導体装置の製造工程を工程順に説明するための断面図である。
【図12】 本発明の実施形態による半導体装置の製造工程を工程順に説明するための断面図である。
【図13】 本発明の実施形態による半導体装置の製造工程を工程順に説明するための断面図である。
【図14】 本発明の実施形態による半導体装置の製造工程を工程順に説明するための断面図である。
【図15】 本発明の実施形態による半導体装置の製造工程を工程順に説明するための断面図である。
【図16】 本発明の実施形態による半導体装置の製造工程を工程順に説明するための断面図である。
【図17】 本発明の実施形態による半導体装置の製造工程を工程順に説明するための断面図である。
【図18】 本発明の実施形態による半導体装置の製造工程を工程順に説明するための断面図である。

選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図

110 基板 115 シード層 120 バッファー層 132 チャンネル層 134 2次元電子ガス 136 バリア層 136a 第1バリア層 136b 第2バリア層 136c 第3バリア層 152 ゲート半導体層 152L ゲート半導体物質層 155 ゲート電極 155 ゲート電極物質層 161 第1保護層 163 第2保護層 173 ソース電極 173a 下部ソース電極 173b 上部ソース電極 175 ドレイン電極 175a 下部ドレイン電極 175b 上部ドレイン電極 177 フィールド分散層 177a 第1フィールド分散層 177b 第2フィールド分散層

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