技術分野
半導体装置、及び半導体装置の製造方法
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】半導体装置の放熱ベース基板の曲げ剛性を向上する。
【解決手段】半導体装置10は、おもて面に半導体素子12a~12cが搭載された絶縁回路基板11と、矩形状をなす放熱ベース基板14を有する。放熱ベース基板14には、絶縁回路基板11の裏面が接合される上面と、上面と対向する下面と、互いに対向する2つの第1側面14b1,14b2と、2つの第1側面14b1,14b2の延伸方向との直交方向に延伸し互いに対向する2つの第2側面14c1,14c2とが設けられる。放熱ベース基板14の2つの第1側面14b1,14b2と2つの第2側面14c1,14c2とには、放熱ベース基板14の内側に底部14e1を有する凹部14eが設けられている。
【選択図】図1
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本件実施形態の課題としては、半導体装置の放熱ベース基板の曲げ剛性を向上させることである。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一観点によれば、おもて面に半導体素子が搭載された絶縁回路基板と、矩形状をなし、前記絶縁回路基板の裏面が接合される上面と、前記上面と対向する下面と、互いに対向する2つの第1側面と、前記2つの第1側面の延伸方向との直交方向に延伸し互いに対向する2つの第2側面とが設けられた放熱ベース基板と、を有し、前記2つの第1側面と前記2つの第2側面とには、前記放熱ベース基板の内側に底部を有する凹部が設・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
1つの側面では、半導体装置の放熱ベース基板の曲げ剛性を向上できる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
半導体装置の一例の上面図(A)及びI-I線における断面図(B)である。
【図2】
II-II線における断面図である。
【図3】
放熱ベース基板の斜視図である。
【図4】
放熱ベース基板に形成されている高密度領域を説明する平面図である。
【図5】
冷却体の接続例を示す上面図(A)及びV-V線における断面図(B)である。
【図6】
凹部を有さない放熱ベース基板を用いた場合の液状化合物の押し出しの例を示す図である。
【図7】
凹部の形状の違いによる機能の差異を説明する図である。
【図8】
放熱ベース基板の変形例を示す斜視図である。
【図9】
凹部の端部を角形状または鋭角状とした場合のクラック発生例を示す図である。
【図10】
凹部の形成位置の変形例を示す図である。
【図11】
半導体装置の製造プロセスの一例の流れを説明する図である。
10 半導体装置
11 絶縁回路基板
11a 絶縁基板
11b,11c 金属板
12a~12c 半導体素子
13a~13c,15 接合材
14,30,40,50~52,60 放熱ベース基板
14a,60a 上面
14b1,14b2,50a1,50a2 第1側面
14c1,14c2,50b1,50b2 第2側面
14d,60b 下面
14e,40a1~40a4,50c1,50c2,51a,52a,60c 凹部
14e1 底部
14f1~14f4 貫通孔
14g1 高密度領域
14g2 領域
16 収容体
20 液状化合物
20a 押し出し部
21 冷却体
22a~22d 締結ねじ
51b,52b クラック
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