特開2026-152634IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

イメージセンサに関するものである。

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】駆動トランジスタのゲート電極面積を最大化するようにソース/ドレイン領域を分離構造物上に積層し、別途のソース/ドレイン領域を形成する導電層を分離構造物上に提供して、ノイズを最小化するイメージセンサを提供する。
【解決手段】イメージセンサ1は、基板101、ピクセル領域のそれぞれに配置され、光電変換領域から伝達された電荷を保存するフローティングディフュージョン領域FD、フローティングディフュージョン領域の電荷に応じた信号を伝送する回路素子、フローティングディフュージョン領域及び回路素子を定義する素子分離領域105を含み、回路素子のうち少なくとも1つは、基板に配置されるゲート構造体GS及びその両側に配置されるソース/ドレイン領域S/Dを含み、ソース/ドレイン領域のうち少なくとも1つは、素子分離領域上に配置され、ゲート構造体の下部の基板と接触し、基板とは異なる物質を含む導電層を有する。
【選択図】図4

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の技術的思想が解決しようとする課題のうち1つは、ソースフォロワである駆動トランジスタのゲート電極面積を最大化するように駆動トランジスタのソース/ドレイン領域を分離構造物上に積層して別途形成するイメージセンサを提供することである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一実施形態によるイメージセンサは、それぞれの光電変換領域を含むピクセル領域を含む基板と、基板の一面において、ピクセル領域のそれぞれに配置され、光電変換領域から伝達された電荷を保存するフローティングディフュージョン領域と、フローティングディフュージョン領域の電荷に応じた光電信号を伝送する回路素子と、基板の一面でフローティングディフュージョン領域及び回・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一実施形態によると、ソースフォロワバッファ増幅器である駆動トランジスタのゲート電極面積を最大化するように駆動トランジスタのソース/ドレイン領域を分離構造物上に別途形成してゲート電極の面積を確保してノイズを最小化することができる。

別途のソース/ドレイン領域を形成する導電層を、分離構造物を一部除去した後に埋め込み型で提供することにより、不要なキャパシタンスを最小化することができる。

様々なレイアウトで分離構造物上に導電層を形成してソース/ドレイン領域を共有してコンタクトプラグの個数を最小化することができる。

本発明の多様でありながらも有意義な利点及び効果は、上述した内容に限定されず、本発明の具体的な実施形態を説明する過程で、より容易に理解することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の例示的な実施形態によるイメージセンサを簡単に示したブロック図である。
【図2】 本発明の例示的な実施形態によるピクセル回路を簡単に示した回路図である。
【図3】 図2のイメージセンサのピクセルの配置を簡単に示した図面である。
【図4】 図3のイメージセンサを示す断面図である。
【図5】 図4の一部を拡大した拡大図である。
【図6】 本発明の例示的な実施形態によるイメージセンサの拡大図である。
【図7】 本発明の例示的な実施形態によるイメージセンサの拡大図である。
【図8】 本発明の例示的な実施形態によるイメージセンサの拡大図である。
【図9】 本発明の例示的な実施形態によるイメージセンサの拡大図である。
【図10】 本発明の例示的な実施形態によるイメージセンサの拡大図である。
【図11】 本発明の例示的な実施形態によるイメージセンサの拡大図である。
【図12】 本発明の例示的な実施形態によるピクセル回路を簡単に示した回路図である。
【図13】 本発明の例示的な実施形態によるイメージセンサの配置図である。
【図14】 本発明の例示的な実施形態によるイメージセンサの配置図である。
【図15】 本発明の例示的な実施形態によるイメージセンサの断面図である。
【図16a】 図4のイメージセンサを製造する方法を説明するための断面図である。
【図16b】 図4のイメージセンサを製造する方法を説明するための断面図である。
【図16c】 図4のイメージセンサを製造する方法を説明するための断面図である。
【図16d】 図4のイメージセンサを製造する方法を説明するための断面図である。
【図16e】 図4のイメージセンサを製造する方法を説明するための断面図である。
【図16f】 図4のイメージセンサを製造する方法を説明するための断面図である。
【図16g】 図4のイメージセンサを製造する方法を説明するための断面図である。

選択図 図4出願人が指定した本件の代表的な図

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