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特開 2026-154422出願番号 特願 2025-43557
基板処理装置
出願人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス（識別番号 207551）
2026年 特許公開件数ランキング 61位 369件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 50位 357件（※）
公報発行日 2026年10月5
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-154422 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】基板処理装置の構造を簡素化する。
【解決手段】基板処理装置１の第１電極６１は、基板９に電気的に接続する。第２電極６２は、処理液に電気的に接続する。電源部６３は、第１電極６１と第２電極６２との間に電圧を印加する。基板保持部２１のベース部２１１は、基板９の下面９２と上下方向に対向する。複数のチャックピン２１２は、ベース部２１１の上面上において周方向に並んで立設する。複数のチャックピン２１２は、基板９の周縁部に接触して基板９を保持する。第１電極６１は、複数のチャックピン２１２に設けられて基板９の周縁部に直接的に接触する。第２電極６２は、基板９の上面９１と上下方向に対向する。第２電極６２は、第２電極６２の下面６２１と基板９の上面９１との間の間隙に処理液が満たされて液膜が形成されている状態で、液膜に直接的に接触することにより処理液と電気的に接続される。
【選択図】図２
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、基板処理装置の構造を簡素化することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図
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