特開2026-155109IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

この発明は、例えばダイシング後の半導体チップをシート状のキャリアに担持させたワークを洗浄する技術に関するものである。

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】キャリア上に隙間を空けて複数のチップが配列された構造を有するワークを効果的に洗浄する。
【解決手段】本発明は、シート状のキャリアの表面に複数のチップが隙間を空けて配列されたワークを洗浄する洗浄装置に係るものである。洗浄装置は、ワークをチップの主面が水平面に対して傾斜した姿勢に保持する保持部と、保持部に保持されたワークを主面の法線方向に沿った回動軸まわりに回動させて、ワークを所定の姿勢に位置決めする位置決め機構と、ワークの上方に配置されワークに向け洗浄液を吐出するノズルとを備える。
【選択図】図２

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

一般的に、チップはウエハ上で二次元マトリクス状にレイアウトされるから、ワークにおいてチップ間を隔てる溝は例えば二次元格子状に並んでいる。一方、スピン洗浄では、ワークに供給された洗浄液は、遠心力により回転中心から周縁に向かう半径方向に放射状に流れる。そのため、洗浄液による掃き出し作用は、溝の内部に付着したパーティクルに対しては必ずしも十分に機能しない。したがって、従来技術のようなスピン洗浄は、溝の内部にパーティクルが残留してしまうことがあるという問題を有し、洗浄をより効果的に行うという点において改良の余地がある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一の態様は、シート状のキャリアの表面に複数のチップが隙間を空けて配列されたワークを洗浄する洗浄装置であって、前記ワークを、前記チップの主面が水平面に対して傾斜した姿勢に保持する保持部と、前記保持部に保持されたワークを前記主面の法線方向に沿った回動軸まわりに回動させて、前記ワークを所定の姿勢に位置決めする位置決め機構と、前記ワークの上方に配置され前記ワークに向け洗浄液を吐出するノズルと・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

以上のように、本発明によれば、ノズルから吐出された洗浄液がワーク表面に沿って流下するとき、その流下方向と、チップ間の隙間に形成される溝の方向とを一致させることができる。このため、パーティクルが溝に残留するのを抑制し、ワークを効果的に洗浄することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 ワークの構成例を模式的に示す図である。
【図2】 本発明に係る洗浄装置の一実施形態を示す図である。
【図3】 ワークの回動角度の変化を示す図である。
【図4】 ノズルからの洗浄液の吐出態様を例示する図である。
【図5】 ノズルからの洗浄液の吐出態様を例示する図である。
【図6】 この実施形態における洗浄処理を示すフローチャートである。

選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図

１ 洗浄装置 ２ 保持部 ３ ノズル ２１ ワークベース（保持部材） ２３ ロータリーアクチュエータ（位置決め機構） ２５ ロータリーアクチュエータ（傾き調整機構） ２１１ チャック機構 Ｃｐ チップ Ｄ１，Ｄ２ 溝 Ｗ１ ダイシングフレーム Ｗ２ ダイシングテープ（キャリア） Ｗｋ ワーク

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