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特開 2026-155885出願番号 特願 2025-45302
フィルタ交換方法および基板処理装置
出願人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス（識別番号 207551）
2026年 特許公開件数ランキング 61位 369件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 50位 357件（※）
公報発行日 2026年10月6
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-155885 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】フィルタの取り外しまでに要する時間を短くする。
【解決手段】フィルタ交換方法は、処理液供給ライン４において、第１ドレン配管４４上に設けられた第１バルブ５１、および、分岐点４２１と処理液供給源７１との間において一次側配管４２上に設けられた第２バルブ５２を開放状態として、一次側配管４２内の圧力を低減する工程と、第１バルブ５１が閉鎖され、第２ドレン配管４５上に設けられた第３バルブ５３が開放された状態で、分岐点４２１とフィルタ４１との間において一次側配管４２上に設けられた供給口５７から一次側配管４２にガスを供給して、一次側配管４２の供給口５７とフィルタ４１との間の部位およびフィルタ４１の内部の処理液を、第２ドレン配管４５および二次側配管４３を介して排出する工程と、を備える。これにより、フィルタ４１の取り外しまでに要する時間を短くすることができる。
【選択図】図５
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明では、フィルタの取り外しまでに要する時間を短くすることができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図5出願人が指定した本件の代表的な図
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