特開2026-156533IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

電解硫酸供給装置

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】予備温調運転における高い精度での温度判定、および、電解硫酸生成運転における高い精度での温度制御に資する電解硫酸供給装置を提供する。
【解決手段】電解硫酸供給装置５は、生成タンクＴｋ２、温調循環配管６８、電解循環配管６１を備える。温調循環配管６８は共通循環配管６１０および温調個別配管６８１を有する。電解循環配管６１は共通循環配管６１０および電解個別配管６１１を有する。共通循環配管６１０には、送液部６２、ヒータ６３１および第１温度センサＳｎ１１が設けられる。温調個別配管６８１には、温調循環弁６９が設けられる。電解個別配管６１１には、フィルタ６６、冷却器６３２、電解セル６５および第２温度センサＳｎ１２が設けられる。電解セル６５は冷却器６３２よりも下流側に設けられ、第２温度センサＳｎ１２は冷却器６３２と電解セル６５との間に設けられる。
【選択図】図１７

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

硫酸の粘度は低温ほど高い。硫酸の粘度が高ければ、硫酸溶液が循環しにくい。このため、硫酸溶液の温度を上昇させる予備温調を行うことが望ましい。そして、硫酸溶液の温度が循環に適した温度以上になると、第１の循環ラインを通じた循環により、電解溶液に対する電気分解（電解硫酸生成運転）を開始することが望ましい。このような温度判定は高い精度で行われることが望まれる。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

電解硫酸供給装置は、硫酸を含む硫酸含有液を貯留する生成タンクと、前記生成タンクに接続された上流端部を有する共通循環配管、ならびに、前記共通循環配管の下流端部および前記生成タンクを接続する温調個別配管を有する温調循環配管と、前記共通循環配管、ならびに、前記共通循環配管の前記下流端部および前記生成タンクを接続する電解個別配管を有する電解循環配管と、前記共通循環配管に設けられた送液部およびヒータと・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

電解硫酸生成装置は、予備温調運転における高い精度での温度判定、および、電解硫酸生成運転における高い精度での温度制御に資する。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、第１実施形態にかかる電解硫酸供給装置を含む基板処理システムの構成の一例を概略的に示す平面図である。
【図2】 図２は、基板処理システムの構成の一襟を示す縦断面図である。
【図3】 図３は、制御部の内部構成の一例を概略的に示すブロック図である。
【図4】 図４は、電解硫酸供給装置の構成の一例を概略的に示す図である。
【図5】 図５は、通常運転中の電解硫酸供給装置の様子の一例を概略的に示す図である。
【図6】 図６は、通常運転中の電解硫酸供給装置の様子の一例を概略的に示す図である。
【図7】 図７は、通常運転中の電解硫酸供給装置の様子の一例を概略的に示す図である。
【図8】 図８は、電解硫酸供給装置の水置換運転の一例を示すフローチャートである。
【図9】 図９は、水置換運転における電解硫酸供給装置の様子の一例を概略的に示す図である。
【図10】 図１０は、水置換運転における電解硫酸供給装置の様子の一例を概略的に示す図である。
【図11】 図１１は、水置換運転における電解硫酸供給装置の様子の一例を概略的に示す図である。
【図12】 図１２は、水置換運転における電解硫酸供給装置の様子の一例を概略的に示す図である。
【図13】 図１３は、水置換運転における電解硫酸供給装置の様子の一例を概略的に示す図である。
【図14】 図１４は、第１送液部の構成の一例を概略的に示す図である。
【図15】 図１５は、通常運転における第１送液部の様子の一例を概略的に示す図である。
【図16】 図１６は、水置換運転における第１送液部の様子の一例を概略的に示す図である。
【図17】 図１７は、第２実施形態にかかる電解硫酸供給装置の構成の第１例を概略的に示す図である。
【図18】 図１８は、第２実施形態にかかる電解硫酸供給装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図19】 図１９は、予備温調運転中の電解硫酸供給装置の様子の一例を概略的に示す図である。
【図20】 図２０は、電解硫酸生成運転中の電解硫酸供給装置の様子の一例を概略的に示す図である。
【図21】 図２１は、電解硫酸生成運転における温度制御の動作の一例を示すフローチャートである。
【図22】 図２２は、第２実施形態にかかる電解硫酸供給装置の構成の第２例を概略的に示す図である。
【図23】 図２３は、第２実施形態にかかる電解硫酸供給装置の構成の第３例を概略的に示す図である。

選択図 図17出願人が指定した本件の代表的な図

１ 基板処理装置 ５ 電解硫酸供給装置 ５５ 外循環配管 ５５１ 装置供給管 ６０ 濃度個別配管 ６１ 電解循環配管 ６１０ 共通循環配管 ６１１ 電解個別配管 ６２ 送液部（第３送液部） ６３１ ヒータ ６３２ 冷却器 ６５ 電解セル ６８ 温調循環配管 ６８１ 温調個別配管 ６９ 温調循環弁 ９０ 制御部 Ｓｎ１１ 第１温度センサ Ｓｎ１２ 第２温度センサ Ｓｎ３ 濃度センサ Ｔｋ２ 生成タンク Ｗ 基板

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