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特開 2026-156717出願番号 特願 2025-46554
情報処理装置、基板処理装置、情報処理方法、基板処理方法、情報処理プログラムおよび基板処理プログラム
出願人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス（識別番号 207551）
2026年 特許公開件数ランキング 61位 369件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 50位 357件（※）
公報発行日 2026年10月6
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2026-156717 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】処理液を用いた基板処理におけるパターンの倒壊を減少させることが可能な情報処理装置、基板処理装置、情報処理方法、基板処理方法、情報処理プログラムおよび基板処理プログラムを提供する。
【解決手段】プロセッサは、プログラムを実行することにより、学習モデルを取得し、基板の処理条件を取得し、学習モデルを用いて、処理条件からパターン倒壊率を予測する。学習モデルは、処理条件と、基板の主面上の処理液を示す動画における処理液の特徴が定量化された動画特徴量との関係を学習した第１モデル部と、動画特徴量と、パターン倒壊率との関係を学習した第２モデル部とを含む。
【選択図】図６
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、処理液を用いた基板処理におけるパターンの倒壊を減少させることができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図6出願人が指定した本件の代表的な図
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