特開2026-157252IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

本明細書で開示される主題は、基板処理装置

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】気液分離を省スペースで適切に行う基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１０は、基板Ｗを保持するスピンベース２１と、スピンベース２１に取り付けられたスピン軸２５と、スピン軸２５を鉛直方向に延びる回転軸線Ａ１まわりに回転させるスピンモータ２６と、スピンベース２１に保持された基板Ｗに処理液を供給するノズル３１と、スピンベース２１の周囲かつ下方に配置された有底円筒状の下カップ４１と、スピンベース２１の下方かつ下カップ４１の底壁部４１１より上方に位置する円環状の中カップ４３と、下カップ４１の底壁部４１１から中カップ４３に向けて上方に立ち上がる円筒状の気流分配板５０と、を備える。気流分配板５０は、複数の開口部５１を有する。下カップ４１は、径方向において気流分配板５０よりも内側に配置された排気口６１１と、径方向において気流分配板５０よりも外側に配置された排液口６３１と、を有する。
【選択図】図２

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、従来技術のように、気液分離器を排気管に設けた場合、限られた装置サイズでさらに設置スペースを確保する必要があるため、装置の小型化が困難になるという問題があった。また、カップの下に気液分離器を配置すると、基板の処理位置が高くなり、それに伴い、メンテナンス空間、および、基板処理装置に対して基板を搬出入する際の高さ位置であるパスラインも高くなってしまう。したがって、気液分離を省スペースで行うことが求められている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するため、第１態様は、基板処理装置であって、基板を保持するチャックと、前記チャックに取り付けられたスピン軸と、前記スピン軸を鉛直方向に延びる回転軸線まわりに回転させるモーターと、前記チャックに保持された基板に処理液を供給するノズルと、前記チャックの周囲かつ下方に配置された有底円筒状の下カップと、前記チャックの下方かつ下カップの底部より上方に位置する円環状の中カップと、前記下カッ・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

第１態様から第５態様の基板処理装置によれば、開口部が設けられた気流分配部材により気液分離を行うことができる。これにより、気液分離器を省略できるため、省スペースで気液分離を行うことができる。

第２態様の基板処理装置によれば、複数の開口部を設けることで、排気が排気口の近傍に集中することを低減できる。

第３態様の基板処理装置によれば、隙間を通過したミストに含まれる液体が、開口部を通過することを抑制できる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 基板処理装置を備えた基板処理システムの構成を模式的に示す平面図である。
【図2】 基板処理装置の構成を示す概略断面図である。
【図3】 図２に示す下カップおよび気流分配板を示す図である。
【図4】 基板処理装置の制御ブロック図である。
【図5】 変形例に係る基板処理装置の構成を示す概略断面図である。

選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図

１０ ：基板処理装置 ２１ ：スピンベース（チャック） ２５ ：スピン軸 ３１ ：ノズル ４１ ：下カップ ４３ ：中カップ ５０ ：気流分配板 ５１ ：開口部 ２８１ ：駆動プーリー ２８３ ：従動プーリー ２８５ ：駆動ベルト ６１１ ：排気口 ６３１ ：排液口 Ａ１ ：回転軸線 Ｈ ：隙間 Ｗ ：基板

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