特開2026-157904IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

ここに開示する技術は、基板検出装置及び基板搬送ロボットシステム

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】基板の変形を検出する基板検出装置及び基板搬送ロボットシステムを提供する。
【解決手段】基板搬送ロボットシステムにおいて、基板検出装置１００は、収納部４２に収納され、かつ、ロボット２によって収納部の開口４３を通じて収納部から搬出される基板９を、開口を通じて撮影するカメラ５と、開口から収納部の内方へ向かう方向とは異なる方向に、基板を照らす照明７と、を備える。基板搬送ロボットシステムは、ロボットが収納部から基板を搬出する前に、搬出対象の基板の変形及び姿勢を確認し、基板が変形していると、ロボットが、予め教示されているハンド３の経路に従って、ハンドを開口から収納部の中へ挿入した際に、ハンドが基板に衝突してしまうことを未然に回避するために、カメラが撮影した画像に基づいて基板の形状を確認し、かつ、カメラが撮影した画像に基づいて基板の姿勢を確認する。
【選択図】図５

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

例えば半導体製造に係るウェハ基板は、熱処理によって、又は、自重によって撓んだり、反ったりすることがある。ここで、図１５に例示するように、基板の変形には、二つの態様が存在する。第１の変形態様は、図１５の上図１５０１に示すように、Ｘ－Ｙ平面上に広がる表面９１及び裏面９２を有する基板９について、Ｙ方向に変形する一方、Ｘ方向には変形しない態様である。第１の変形態様の基板９は、Ｘ方向に平行な視線で基板９を見た場合に、基板９の縁が湾曲して見える。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

ここに開示する技術は、基板検出装置に係る。基板検出装置は、 収納部に収納されかつロボットによって開口を通じて前記収納部から搬出される基板を、前記開口を通じて撮影するカメラと、 前記開口から前記収納部の内方へ向かう方向とは異なる方向に、前記基板を照らす照明と、を備える。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

前記の基板検出装置では、照明が、開口から収納部の内方へ向かう方向とは異なる方向に基板を照らすため、基板検出装置は、カメラによって撮影される基板の画像に基づいて、基板の変形を検出しやすい。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、基板搬送ロボットシステムを示す。
【図2】 図２は、基板搬送ロボットシステムのブロック図である。
【図3】 図３は、ロボットを示す。
【図4】 図４は、基板を収納する収納部の一部を示す正面図である。
【図5】 図５は、収納部とロボットとを側方から見た断面図である。
【図6】 図６は、収納部に設けられた照明の分解図である。
【図7】 図７は、カメラが撮影する基板の画像を示す。
【図8】 図８は、基板の搬送方法の手順を示すフローチャートである。
【図9】 図９は、照明の変形例を示す。
【図10】 図１０は、照明の変形例を示す収納部の平面図及び断面図である。
【図11】 図１１は、照明の変形例を示す、収納部の断面図である。
【図12】 図１２は、照明の変形例を示す収納部の平面図及び断面図である。
【図13】 図１３は、照明の変形例を示す、収納部の正面図である。
【図14】 図１４は、図１３の収納部の断面図である。
【図15】 図１５は、基板の変形態様を示す。

選択図 図5出願人が指定した本件の代表的な図

１ 基板搬送ロボットシステム １００ 基板検出装置 ２ ロボット ２００ マニピュレータ ２０４ 撮影コントローラ ４２ 収納部 ４３ 開口 ５ カメラ ７ 照明 ７１ 光源 ７２ 遮光部 ７５５ 光源 ７６ 反射器 ７７ 反射器と反射器との間の部位 ７８ 下部光源 ７９ 上部光源 ９ 基板

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