特開2026-158815IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

この発明は、温度調整された処理液を用いて基板を処理する基板処理装置に関するものである。

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】温度調整された処理液が渡り配管を通送される基板処理装置において、配管を流通する処理液の熱損失を抑え温度変化や結露等の問題を解消する。
【解決手段】本発明の基板処理装置は、温度調整された処理液を出力する処理液供給部と、処理液供給部から供給される処理液を用いて基板を処理する基板処理部と、処理液供給部と基板処理部とを接続して処理液を通送する渡り配管とを備えている。ここで渡り配管は、内部を処理液が流通する処理液配管と、中空の内部空間に処理液配管が挿通されることで処理液配管の周囲を覆う外装管と、内部空間内で処理液配管と外装管との間に配置されて、処理液配管の外壁面と外装管の内壁面とを非接触に維持するスペーサー部材とを有し、スペーサー部材は、内部空間内において処理液配管の管軸方向への気体の通過を許容する気体流路となる流路形成部を有する。
【選択図】図５

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

このような渡り配管を用いて冷却された処理液が通送される場合には、低温の処理液により配管およびその周囲雰囲気も冷やされるため、装置の設置環境に結露による水滴を生じさせることがある。この問題に関しては、特許文献１には記載がない。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一の態様は、温度調整された処理液を出力する処理液供給部と、前記処理液供給部から供給される前記処理液を用いて基板を処理する基板処理部と、前記処理液供給部と前記基板処理部とを接続して前記処理液を通送する渡り配管とを備える基板処理装置である。ここで、前記渡り配管は、内部を前記処理液が流通する処理液配管と、中空の内部空間に前記処理液配管が挿通されることで前記処理液配管の周囲を覆う外装管と、前・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

以上のように、本発明によれば、処理液配管と外装管との二重配管構造において、両者の間に介在するスペーサー部材によって両者が隔離され、かつその間の空間には気体流路が形成される。このため、二重配管構造の利点を失うことなく、しかも熱橋を介した熱の移動に起因する処理液の温度変化や結露等の問題を解消することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の一実施形態である基板処理システムの概略構成を示す図である。
【図2】 冷却装置の構成例を示す図である。
【図3】 熱交換器の構成例を示す図である。
【図4】 基板処理システムのレイアウトおよび渡り配管の例を示す図である。
【図5】 送り配管として適用可能な配管の構造を示す図である。
【図6】 スペーサーの構造を示す図である。
【図7】 送り配管の変形例を示す図である。
【図8】 スペーサーの二重配管の構成例を示す図である。

選択図 図5出願人が指定した本件の代表的な図

１ 処理液供給部 ２ 配管系（処理液供給部） ９ 基板処理部 ６１ 送り配管（渡り配管） ６５ 戻り配管（渡り配管） ６７ 冷却部（気体供給部） ６００ 二重配管 ６０１ 内管（処理液配管） ６０２ 外管（外装管） ６０３ スペーサー（スペーサー部材） ６０３ａ 貫通孔 ６０３ｂ 貫通孔（気体流通孔、流路形成部） ６１１ 配管 Ｓ 基板処理システム（基板処理装置）

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