技術分野
弾性波装置
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】縦結合共振器の減衰特性が改善された弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置1は、主面40aを有する基板40と、主面40aと対面する主面50aを有する圧電性の基板50と、主面50aに配置されたIDT電極11a~15aと、IDT電極11a~15aの少なくとも1つに接続され、グランド接続された配線31aと、主面40aに配置された配線34aと、配線31aと配線34aとを接続する接続導体32aおよび接続導体33aと、を備え、IDT電極11a~15aのそれぞれは、複数の第1電極指61a同士を接続し、グランドに接続されたバスバー電極311a~315aと、複数の電極指61b同士を接続するバスバー電極311b~315bと、を有し、複数のIDT電極11a~15aおよび基板50は、縦結合共振器10を構成し、主面50aを平面視した場合、接続導体32aはバスバー電極311aと重なる。
【選択図】図1
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、特許文献1に開示された弾性波フィルタでは、IDT電極は、圧電性基板上の配線パターン、支持層、カバー層上の配線パターンを介してグランドに接続されるため、縦結合共振器の減衰特性が劣化する場合がある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一態様に係る弾性波装置は、互いに対向する第1主面および第2主面を有する第1基板と、第1主面と対面する第3主面および第3主面と対向する第4主面を有し、圧電性を有する第2基板と、第3主面に配置された複数のIDT電極と、第3主面に配置され、複数のIDT電極の少なくとも1つに接続され、グランド接続された第1配線と、第1主面、第2主面および第4主面の少なくとも一面に配置された第2配線と、第1配・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、縦結合共振器の減衰特性が改善された弾性波装置を提供することが可能となる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
実施の形態に係る弾性波装置の断面図である。
【図2A】
実施の形態に係る弾性波装置を構成する弾性波共振子の第1例を模式的に表す平面図および断面図である。
【図2B】
実施の形態に係る弾性波装置を構成する弾性波共振子の第2例を模式的に表す断面図である。
【図3】
実施の形態に係る弾性波装置の回路構成図である。
【図4A】
実施の形態に係る弾性波装置の第1平面図である。
【図4B】
実施の形態に係る弾性波装置の第2平面図である。
【図4C】
実施の形態に係る弾性波装置の第3平面図である。
【図5】
実施の形態の変形例1に係る弾性波装置の断面図である。
【図6】
実施の形態の変形例2に係る弾性波装置の断面図である。
1、1A、1B 弾性波装置
10、20 縦結合共振器
11、12、13、14、15、21、22、23、24、25 弾性波共振子
11a、12a、13a、14a、15a、21a、22a、23a、24a、25a IDT電極
19、29 反射電極
31a、31b、34a、34b、34c、34d、34e、34f、37a、37b 配線
32a、32b、32c、32d、33a、33b、35、36a、36b 接続導体
40、50 基板
40a、40b、50a、50b 主面
51 高音速支持基板
52 低音速層
53 圧電体層
55、58 保護層
60a、60b 櫛形電極
61a、61b 電極指
62a、62b、311a、311b、312a、312b、313a、313b、314a、314b、315a、315b、319、321a、321b、322a、322b、323a、323b、324a、324b、325a、315b、329 バスバー電極
70 枠体
81 絶縁膜
82、82a、82b、82c、82d ビア導体
83 バンプ電極
91、92 直列腕共振子
93、94 並列腕共振子
101、102 入出力端子
103、104 グランド端子
540 密着層
542 主電極層
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