しかしながら、特許文献１に記載されている搬送ロボットでは、真空対応のアクチュエータなどの特定の構成を用いずにハンドにワークを固定して保持するために、ハンドを後退位置に配置した姿勢を取ることによって、ハンドの係止部と旋回ベースのワーク保持部とがハンドに保持されたワークを挟み込んで保持するため、ハンドを前進させた姿勢を取る場合にはハンドに対するワークの固定が解除される。そのため、ハンドを前進させた姿勢では、ハンドに対するワークの位置ずれを抑制するためにハンドの動作速度を小さくする必要があるため、搬送動作における作業効率が低下する。そこで、真空対応のアクチュエータなどの特殊な構成を用いない場合にも、ハンドに対するワークの位置ずれを抑制して搬送動作における作業性の低下を抑制することが望まれている。

目的を達成するために、この開示の一の局面による搬送ロボットは、ロボットアームと、ロボットアームの先端に配置され、気密された中空のハンド空間を内部に有するとともに、ワークを保持するハンドと、ハンドに保持されたワークを固定するチャック部と、ハンド空間に配置され、チャック部を動作させる動作部と、を備える。