特開2026-162910IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

窒化珪素質焼結体、および、放熱基板

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】 窒化珪素質焼結体において、温度変化による破損を抑制する技術を提供する。
【解決手段】 窒化珪素質焼結体は、複数の窒化珪素質粒子と、複数の窒化珪素質粒子間に形成される粒界相と、を備え、窒化珪素質粒子と粒界相とを通る断面において、窒化珪素質焼結体の表面から50μmまでの前記窒化珪素質焼結体の断面に含まれる、一辺が50μmの矩形の領域である第1の領域の面積における、希土類元素、アルカリ土類元素、および、4族元素の少なくとも一つを含む特定領域の面積の比率をAとし、窒化珪素質焼結体の表面から50μm以上離れた窒化珪素質焼結体の断面に含まれる、一辺が50μmの矩形の領域である第2の領域の面積における、希土類元素、アルカリ土類元素、および、4族元素の少なくとも一つを含む特定領域の面積の比率をBとすると、以下の式(1)を満たす。
1<A/B<4 ・・・(1)
【選択図】 図2

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、特許文献1のような先行技術によっても、窒化珪素質焼結体において、温度変化による破損を抑制する技術については、なお、改善の余地があった。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 第1実施形態の窒化珪素質焼結体を備える放熱基板の断面図である。
【図2】 第1実施形態の窒化珪素質焼結体の断面SEM像を示す図である。
【図3】 窒化珪素質焼結体の断面における第1のSEM-EDS像を示す図である。
【図4】 窒化珪素質焼結体の断面における第2のSEM-EDS像を示す図である。
【図5】 窒化珪素質焼結体の評価試験の結果を説明する図である。

選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図

1…窒化珪素質焼結体 10…放熱基板 R1…第1の領域 R2…第2の領域

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