特開2026-163329IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

プラズマ発生器

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】冷却管が、冷却器を介して放電管を冷却しているが、冷却管による放電管の冷却が十分でないことがある。
【解決手段】フランジ３２の表面のうち、コイル側の表面３２ａには、冷却管８４を収容する凹溝３９が形成されている。凹溝３９は、スリーブ３１の軸周りを周回するように形成された円弧状の主溝部３９Ａと、主溝部３９Ａの両端からフランジ３２の外周面３２ｂに向かって延在した一対の副溝部３９Ｂ、３９Ｃと、を有している。主溝部３９Ａの溝幅の断面において、主溝部３９Ａの溝壁面３９ａは、Ｕ字状の溝壁面である。凹溝３９に冷却管８４を収容した状態で、冷却管８４には、溝壁面３９ａに沿ってＵ字状の外壁面８４ａが形成されている。
【選択図】図７

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、特許文献２に係るプラズマ発生器では、冷却管が、冷却器を介して放電管を冷却しているが、冷却管による放電管の冷却が十分でないことがある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

前記課題に鑑みて、本発明に係るプラズマ発生器は、ガスを内部に導入し、内部においてプラズマを発生させるプラズマ発生器である。プラズマ発生器は、円筒形状を有した絶縁性の放電管と、前記放電管の中心軸を中心に前記放電管の外周に巻かれ、少なくとも一部の巻線部分に、ＲＦ帯域の周波数の高周波電流が流れる導電性のコイルと、前記コイルよりもガスの下流側において、前記コイルに隣接した位置で前記放電管の軸方向に沿・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、冷却器を介して、冷却管により放電管を効率良く冷却することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明に係るプラズマ発生装置の構成を示す図である。
【図2】 図１に示すプラズマ発生器の斜視図である。
【図3】 図２に示すプラズマ発生器を他方向から視た斜視図である。
【図4】 図２に示すプラズマ発生器の中心軸に沿った断面図である。
【図5】 図３に示す冷却器と冷却管との分解斜視図である。
【図6】 図５に示す放電管を挿入した冷却器と冷却管との平面図である。
【図7】 （ａ）は、図６に示すＡ－Ａ線に沿った矢視方向の断面図であり、（ｂ）は、図６に示すＢ－Ｂ線に沿った矢視方向の断面図である。

選択図 図7出願人が指定した本件の代表的な図

２０：プラズマ発生器、２２：放電管、２４：コイル、３０：冷却器、３１：スリーブ、３２：フランジ、３３：スリット、３５：温度センサ、３５ａ：先端部分、３９：凹溝、３９Ａ：主溝部、３９Ｂ、３９Ｃ：副溝部、３６：貫通孔、８４：冷却管、８４Ｂ：供給管部、８４Ｃ：排出管部、７３：留め具、７２：押さえ込み部材

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