技術分野
粘着シート及び粘着シートからの物体の剥離方法に関し、特に半導体チップの製造
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】表面に凹凸を有する粘着層を備える粘着シートをフレームのような固定部材に貼着した際の固定力を高める。
【解決手段】粘着シートの粘着面は、凹凸部と、粘着面の周辺部に設けられた平坦部と、を有する。
【選択図】図1A
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
粘着シートをフレームのような固定部材に固定することがある。例えば、粘着シートの外周をリングフレームのようなフレームに固定した状態で、粘着シートに物体を貼り付け、粘着シート上の物体を加工し、粘着シートを拡張し、又は粘着シートから物体を剥離することがある。粘着シートのフレームへの固定は、のような処理を行うために十分な固定力が得られるように行われる。一方で、粘着シートをフレームに固定する方法として、単純に粘着シートをフレームに貼着する方法を採用することにより、作業を単純化することができる。しかしながら、特許文献1に記載された粘着シートは、表面に凹凸を有しているために、フレームに貼着した際の固定力の点で改善の余地を残していた。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明者は、鋭意検討を重ねた結果、フレームのような固定部材への貼着に適するように粘着層を設計することにより課題を解決できることを見出し、更に種々検討を重ね、本発明を完成するに至った。
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
表面に凹凸を有する粘着層を備える粘着シートをフレームのような固定部材に貼着した際の固定力を高めることができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1A】
一粘着シートの断面図。
【図1B】
一粘着シートの上面図。
【図1C】
一粘着層の断面図。
【図2A】
一粘着シートの断面図。
【図2B】
一粘着シートの上面図。
【図3A】
一粘着シートの使用方法を説明する図。
【図3B】
一粘着シートの使用方法を説明する図。
【図4】
一粘着シートの製造方法のフローチャート。
【図5】
一粘着シートの使用方法のフローチャート。
【図6A】
一粘着シートの断面図。
【図6B】
一粘着シートの上面図。
【図7A】
一粘着シートの断面図。
【図7B】
一粘着シートの上面図。
100:粘着シート、110:粘着層、111:粘着面、112:凹凸部、115:平坦部、130:基材
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