特許7111566IP Force 特許公報全文掲載

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ペリクル枠及びペリクル

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ところで、従来では、通気孔の開口端を直接に覆うようにフィルタが配置されているので、短時間で真空引き又は大気解放を行うことは容易ではないという問題があった。つまり、上述した真空引き等を行う場合には、通気孔に比べてフィルタの圧損は非常に大きいので、空気は通気孔に比べてフィルタを通過し難い。そのため、短時間で真空引き等を行うことは容易ではない。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

（１）本開示の第１局面は、平面視で矩形形状であり、厚み方向の両側に設けられた第１面及び第２面と、第１面及び第２面に連接された内周面及び外周面と、を有するペリクル枠に関するものである。このペリクル枠は、第１面に開口し、内周面側と外周面側とを連通する凹部を備えている。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 第１実施形態のペリクル枠を示す斜視図である。
【図2】 第１実施形態のペリクル枠をＸＹ平面に沿って破断した断面を示す断面図である。
【図3】 第１実施形態のペリクル枠の凹部が設けられた第２辺部の一部を外周面側から見た正面図である。
【図4】 図４Ａは第１実施形態のペリクルの第４辺部の一部を外周面側から見た正面図、図４Ｂは図４Ａの第４辺部の一部を第１面側から見た平面図、図４Ｃはサポートフレームに貼り付けられたペリクル膜を示す平面図である。
【図5】 第１実施形態のペリクル枠の製造方法を示す工程図である。
【図6】 第２実施形態のペリクル枠の凹部が設けられた第４辺部の一部を外周面側から見た正面図である。
【図7】 図７Ａは第３実施形態のペリクル枠の凹部が設けられた第４辺部の一部を外周面側から見た正面図、図７Ｂは第４実施形態のペリクル枠の凹部が設けられた第４辺部の一部を外周面側から見た正面図、図７Ｃは第５実施形態のペリクル枠の凹部が設けられた第４辺部の一部を外周面側から見た正面図である。
【図8】 図８Ａは実験例に用いる梁部材の研磨状態を示す説明図、図８Ｂは研磨によって梁部材が変形することを示す説明図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１、４１、５１、６１、７１…ペリクル枠 ３…ペリクル膜 ５…フィルタ ７…ペリクル １１…内周面 １３…外周面 １５…第１面 １７…第２面 ２１…辺部 ２５、４３、５３、６３、７３…凹部 ２６…底部 ２６ａ…底面 ２６ｂ…Ｒ部

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