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特許 7112244出願番号 特願 2018-91543
接合体
出願人 日本特殊陶業株式会社（識別番号 4547）
2026年 特許公開件数ランキング 103位 241件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 144位 153件（※）
公報発行日 2022年8月3
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7112244 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
本明細書に開示される技術は、接合体
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
上述したように、従来の加熱装置では、金およびニッケルを含むロウ材により形成された接合部と外部導電体（受電電極）や金属部材（電極端子）との熱膨張差に起因して接合部に発生したクラックが進展しやすい。クラックが進展すると、例えば、外部導電体と接合部との間の接合強度を十分に確保できなかったり、接合部に隣接している外部導電体や金属部材が損傷したりするおそれがある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本明細書に開示される技術は、以下の形態として実現することが可能である。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
実施形態における加熱装置１００の外観構成を概略的に示す斜視図である。
【図2】
実施形態における加熱装置１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。
【図3】
加熱装置１００における接合部５６近傍の断面写真の一例である。
【図4】
図３のＸ１部分を拡大した接合部５６の断面写真である。
【図5】
性能評価結果を示す説明図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１０：保持体 １２：凹部 ２０：柱状支持体 ２２：貫通孔 ３０：接合層 ５０：抵抗発熱体 ５２：ビア導体 ５４：受電電極 ５６：接合部 ７０：電極端子 ８０：高濃度部 ８２：非高濃度部 ８４：クラック １００：加熱装置 Ｓ１：保持面 Ｓ２：裏面 Ｓ３：上面 Ｗ：半導体ウェハ
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