特許7330967IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

本発明の例示的な一般的に、ディスプレイ用の発光デバイスおよびこれを含むディスプレイ装置に関し、特に、ディスプレイ用マイクロ発光デバイスおよびこれを含むディスプレイ装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の原理およびいくつかの例示的な実施形態により構成される発光ダイオードおよびこれを用いたディスプレイは、ピクセル面積を増加させることなく、各サブピクセルの面積を増加させることができる。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

例示的な実施例による発光ダイオードは、第1基板と、第1基板に隣接した第1LEDサブユニットと、第1LEDサブユニットに隣接した第2LEDサブユニットと、第2LEDサブユニットに隣接した第3LEDサブユニットと、第1基板上に配置される電極パッドと、各電極パッドを第1、第2および第3LEDサブユニットのうちのそれぞれの1つに電気的に接続するためのスルーホールビアとを含み、スルーホールビアの1つ以上は・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の原理およびいくつかの例示的な実施形態により構成される発光ダイオードおよびこれを用いたディスプレイは、ピクセル面積を増加させることなく、各サブピクセルの面積を増加させることができる。

本発明の原理およびいくつかの例示的な実施形態により構成される発光ダイオードおよび発光ダイオード、例えば、マイクロLEDを用いたディスプレイは、実装工程のための時間を短縮させることができるディスプレイ用の発光デバイスを提供する。

本発明の原理およびいくつかの例示的な実施形態により構成される発光ダイオードおよび発光ダイオード、例えば、マイクロLEDを用いたディスプレイは、第1~第3LEDスタックを互いに積層することにより、ディスプレイ用の構造的に安定した発光デバイスおよびこれを含むディスプレイ装置を提供する。

本発明の原理およびいくつかの例示的な実施形態により構成される発光ダイオードおよび発光ダイオード、例えば、マイクロLEDを用いたディスプレイは、各LEDスタックが2つの電極パッドに接続され、独立して駆動される独特の構造によって達成されるコンパクトな構成を有する。例えば、各LEDスタック内のn型またはp型半導体層のうちの1つは、別途のビア構造にまたは電極パッドのうちの各1つに直接接続されてもよく、各LEDスタック内のn型またはp型半導体層のうちの他の1つは、共通電極に接続される。

本発明の原理およびいくつかの例示的な実施形態により構成される発光ダイオードおよび発光ダイオード、例えば、マイクロLEDを用いたディスプレイは、GaAs基板であり得る、第1LEDスタック用成長基板を含み、第1LEDスタックから成長基板を除去する工程を省くことができ、さらにロバストな構造を提供することができる。

本発明の原理およびいくつかの例示的な実施形態により構成される発光ダイオードおよび発光ダイオード、例えば、マイクロLEDを用いたディスプレイは、第1~第3LEDスタックそれぞれのための成長基板を含むディスプレイ用の発光デバイスを提供し、これは、LEDスタックから成長基板を除去する工程が省かれることにより、製造工程を単純化する。

本発明の原理およびいくつかの例示的な実施形態により構成される発光ダイオードおよび発光ダイオード、例えば、マイクロLEDを用いたディスプレイは、絶縁層の上部に形成されるオーミック電極の一部分と重なる電極パッドを含み、製造または使用中にオーミック電極が剥離される可能性を無くすか、減少させることができる。

本発明の概念の付加的な特徴は以下の説明で提示され、部分的にかかる説明から明らかになるか、または本発明の概念を実施することにより学習されるであろう。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

本発明のさらなる理解を提供するために含まれて本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を構成する添付図面は、本発明の例示的な実施例を示し、以下の詳細な説明とともに本発明の概念を説明する役割をする。
【図1】 本発明の例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略平面図である。
【図2A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスの概略断面図である。
【図2B】 図2AのA-A線に沿った概略断面図である。
【図3】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図4】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図5】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図6】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図7】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図8】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図9A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図9B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図10A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図10B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図11A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図11B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図12A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図12B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図13A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図13B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図13C】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図14A】 他の例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスの概略的な平面図および断面図である。
【図14B】 他の例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスの概略的な平面図および断面図である。
【図15】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略平面図である。
【図16A】 例示的な実施例による発光デバイスの概略平面図である。
【図16B】 図16AのA-A線に沿った断面図である。
【図17】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図18】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図19】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図20】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図21】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図22】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図23A】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図23B】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図24A】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図24B】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図25A】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図25B】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図26A】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図26B】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図27A】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図27B】 例示的な実施例による発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図28A】 他の例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスの概略的な平面図および断面図である。
【図28B】 他の例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスの概略的な平面図および断面図である。
【図29】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略平面図である。
【図30A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスの概略平面図である。
【図30B】 図30AのA-A線に沿った断面図である。
【図31】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図32】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図33】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図34】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図35】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図36】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図37A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図37B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図38A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図38B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図39A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図39B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図40A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図40B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図41A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図41B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光デバイスを製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図42】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックの概略断面図である。
【図43A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造する方法を示す概略断面図である。
【図43B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造する方法を示す概略断面図である。
【図43C】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造する方法を示す概略断面図である。
【図43D】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造する方法を示す概略断面図である。
【図43E】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造する方法を示す概略断面図である。
【図44】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略回路図である。
【図45】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略平面図である。
【図46】 図45のディスプレイ装置の1つのピクセルの拡大平面図である。
【図47】 図46のA-A線に沿った概略断面図である。
【図48】 図46のB-B線に沿った概略断面図である。
【図49A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図49B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図49C】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図49D】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図49E】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図49F】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図49G】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図49H】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図49I】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図49J】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図49K】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図50】 他の例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略回路図である。
【図51】 他の例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略平面図である。
【図52】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックの概略断面図である。
【図53A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造する方法を示す概略断面図である。
【図53B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造する方法を示す概略断面図である。
【図53C】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造する方法を示す概略断面図である。
【図53D】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造する方法を示す概略断面図である。
【図53E】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造する方法を示す概略断面図である。
【図54】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略平面図である。
【図55】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略回路図である。
【図56】 図55のディスプレイ装置の1つのピクセルの拡大平面図である。
【図57】 図56のA-A線に沿った概略断面図である。
【図58】 図56のB-B線に沿った概略断面図である。
【図59A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図59B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図59C】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図59D】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図59E】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図59F】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図59G】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図59H】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図59I】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図59J】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図59K】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略断面図である。
【図60】 他の例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略回路図である。
【図61】 他の例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略平面図である。
【図62】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略平面図である。
【図63】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードピクセルの概略断面図である。
【図64】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略回路図である。
【図65A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の1つのピクセルの平面図および底面図である。
【図65B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の1つのピクセルの平面図および底面図である。
【図66A】 図65AのA-A線に沿った概略断面図である。
【図66B】 図65AのB-B線に沿った概略断面図である。
【図66C】 図65AのC-C線に沿った概略断面図である。
【図66D】 図65AのD-D線に沿った概略断面図である。
【図67A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図67B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図68A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図68B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図69A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図69B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図70A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図70B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図71A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図71B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図72A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図72B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図73A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図73B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図74A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図74B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造する方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図75】 他の例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードピクセルの概略断面図である。
【図76】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の1つのピクセルの拡大平面図である。
【図77A】 図76のG-G線に沿った断面図である。
【図77B】 図76のH-H線に沿った断面図である。
【図78】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックの概略断面図である。
【図79A】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造するための方法を示す概略断面図である。
【図79B】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造するための方法を示す概略断面図である。
【図79C】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造するための方法を示す概略断面図である。
【図79D】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造するための方法を示す概略断面図である。
【図79E】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造するための方法を示す概略断面図である。
【図79F】 例示的な実施例によるディスプレイ用の発光ダイオードスタックを製造するための方法を示す概略断面図である。
【図80】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略回路図である。
【図81】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略平面図である。
【図82】 図81のディスプレイ装置の1つのピクセルの拡大平面図である。
【図83】 図82のA-A線に沿った概略断面図である。
【図84】 図82のB-B線に沿った概略断面図である。
【図85A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造するための方法を示す概略平面図である。
【図85B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造するための方法を示す概略平面図である。
【図85C】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造するための方法を示す概略平面図である。
【図85D】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造するための方法を示す概略平面図である。
【図85E】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造するための方法を示す概略平面図である。
【図85F】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造するための方法を示す概略平面図である。
【図85G】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造するための方法を示す概略平面図である。
【図85H】 例示的な実施例によるディスプレイ装置を製造するための方法を示す概略平面図である。
【図86】 例示的な実施例による発光積層構造の概略断面図である。
【図87A】 例示的な実施例による発光積層構造の断面図である。
【図87B】 例示的な実施例による発光積層構造の断面図である。
【図88】 例示的な実施例による配線部を含む発光積層構造の断面図である。
【図89】 例示的な実施例による発光積層構造を示す断面図である。
【図90】 例示的な実施例によるディスプレイデバイスの平面図である。
【図91】 図90の部分P1の拡大平面図である。
【図92】 例示的な実施例によるディスプレイデバイスの構造図である。
【図93】 パッシブタイプのディスプレイデバイスの1つのピクセルの回路図である。
【図94】 アクティブタイプのディスプレイデバイスの1つのピクセルの回路図である。
【図95】 例示的な実施例によるピクセルの平面図である。
【図96A】 図95のI-I’線に沿った断面図である。
【図96B】 図95のII-II’線に沿った断面図である。
【図97A】 第1~第3エピタキシャルスタックを基板上に積層する工程を示す、図95のI-I’線に沿った断面図である。
【図97B】 第1~第3エピタキシャルスタックを基板上に積層する工程を示す、図95のI-I’線に沿った断面図である。
【図97C】 第1~第3エピタキシャルスタックを基板上に積層する工程を示す、図95のI-I’線に沿った断面図である。
【図98】 例示的な実施例により基板上でピクセルを製造する方法を示す平面図である。
【図99A】 図98のI-I’線に沿った断面図である。
【図99B】 図98のII-II’線に沿った断面図である。
【図100】 例示的な実施例により基板上でピクセルを製造する方法を示す平面図である。
【図101A】 図100のI-I’線に沿った断面図である。
【図101B】 図100のII-II’線に沿った断面図である。
【図102】 例示的な実施例により基板上でピクセルを製造する方法を示す平面図である。
【図103A】 図102のI-I’線に沿った断面図である。
【図103B】 図102のII-II’線に沿った断面図である。
【図104】 例示的な実施例により基板上でピクセルを製造する方法を示す平面図である。
【図105A】 図104のI-I’線に沿った断面図である。
【図105B】 図104のII-II’線に沿った断面図である。
【図106】 例示的な実施例により基板上でピクセルを製造する方法を示す平面図である。
【図107A】 図106のI-I’線に沿った断面図である。
【図107B】 図106のII-II’線に沿った断面図である。
【図108】 例示的な実施例により基板上でピクセルを製造する方法を示す平面図である。
【図109A】 図108のI-I’線に沿った断面図である。
【図109B】 図108のII-II’線に沿った断面図である。
【図110】 例示的な実施例により基板上でピクセルを製造する方法を示す平面図である。
【図111A】 図110のI-I’線に沿った断面図である。
【図111B】 図110のII-II’線に沿った断面図である。
【図112】 実施例によるディスプレイ装置の概略平面図である。
【図113A】 図112のディスプレイ装置の部分断面図である。
【図113B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の概略回路図である。
【図114A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図114B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図114C】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図114D】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図114E】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図115A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図115B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図115C】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図115D】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図115E】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図116A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図116B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図116C】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図116D】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図117A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図117B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図117C】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図117D】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図118A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図118B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図118C】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図118D】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図119A】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図119B】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図120】 例示的な実施例によるディスプレイ装置の製造方法を示す概略的な平面図および断面図である。
【図121A】 例示的な実施例による金属ボンディング材料の概略断面図である。
【図121B】 例示的な実施例による金属ボンディング材料の概略断面図である。
【図121C】 例示的な実施例による金属ボンディング材料の概略断面図である。

代表図 図1本件の代表的な図

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