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特許 7361217出願番号 特願 2022-529473
面外力及び屈曲振動の位相変動を軽減するための圧電ベースのマイクロアクチュエータ構成
出願人 ウェスタン デジタル テクノロジーズ インコーポレーテッド（識別番号 504056130）
2026年 特許公開件数ランキング 1290位 13件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 2845位 6件（※）
公報発行日 2023年10月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7361217 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
概して、ハードディスクドライブに関し、特に圧電（ＰＺＴ）マイクロアクチュエータに関し得る。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
添付図面の図において、限定としてではなく、例として示されており、同様の参照番号は類似の要素を指す。
【図1】
実施形態による、ハードディスクドライブを示す平面図である。
【図2A】
実施形態による、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）サスペンションを示す平面図である。
【図2B】
実施形態による、図２Ａのサスペンションを示す分解図である。
【図2C】
実施形態による、図２Ａのサスペンションのフレクシャ及び圧電（ＰＺＴ）マイクロアクチュエータを示す斜視図である。
【図3A】
理想的なＰＺＴマイクロアクチュエータを示す側面図である。
【図3B】
ランダムな変動電極を有するＰＺＴマイクロアクチュエータを示す側面図である。
【図4A】
低いｚ高さ構成のＰＺＴマイクロアクチュエータを示す側面図である。
【図4B】
高いｚ高さ構成のＰＺＴマイクロアクチュエータを示す側面図である。
【図5】
実施形態による、厚さの異なる電極を有するＰＺＴマイクロアクチュエータを示す側面図である。
【図6A】
実施形態による、第１のパターンの電極を示す平面図である。
【図6B】
実施形態による、第２のパターンの電極を示す平面図である。
【図6C】
実施形態による、第３のパターンの電極を示す平面図である。
【図7】
実施形態による、ＰＺＴデバイスを製造する方法を示すフロー図である。
代表図 図1本件の代表的な図
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