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特許 7368600出願番号 特願 2022-511273
材料除去作業を行うための組成物及び方法
出願人 サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス，インコーポレイティド（識別番号 593150863）
2026年 特許公開件数ランキング 2163位 7件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 2099位 6件（※）
公報発行日 2023年10月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7368600 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
材料除去作業を行うための組成物、具体的には、研磨粒子、多価金属ホウ酸塩、及び酸化剤を含むスラリー組成物と、材料除去作業を行う方法
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
図１は、一ホウ酸鉄（ＩＩＩ）を含む研磨用組成物の正規化材料除去（ｎｏｒｍａｌｉｚｅｄ ｍａｔｅｒｉａｌ ｒｅｍｏｖａｌ：ＮＭＲ）、及びいくつかの比較組成物のＮＭＲを示す、グラフである。
【図2】
図２は、酸化剤及びホウ酸鉄（ＩＩＩ）の量を変えることによる研磨用組成物のＮＭＲを示す、グラフである。
代表図 図1本件の代表的な図
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