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汚損物質検出センサ、汚損物質量測定装置および汚損物質量測定方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明が解決しようとする課題は、汚損物質の付着量を精度よく測定することができる汚損物質検出センサ、汚損物質量測定装置および汚損物質量測定方法を提供することである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

実施形態の汚損物質検出センサは、互いに同一の環境に配置される第一水晶振動子と第二水晶振動子と、前記第一水晶振動子に接続する第一周波数発振部と第一周波数計測部、および前記第二水晶振動子に接続する第二周波数発振部と第二周波数計測部を持つ。前記第一水晶振動子は第一金属を含む第一電極を備える。前記第二水晶振動子は第二金属を含む第二電極を備える。前記第二金属は、前記第二電極に汚損物質が付着したときに、・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 実施形態の汚損物質量測定装置を示すブロック図。
【図2】 実施形態の汚損物質量測定装置の第一水晶振動子及び第二水晶振動子に汚損物質と非汚損物質が付着した直後の状態を示す断面図。
【図3】 実施形態の汚損物質量測定装置の第一水晶振動子及び第二水晶振動子に汚損物質と非汚損物質が付着してから時間が経過した後の状態を示す断面図。
【図4】 汚損物質量測定装置の第一水晶振動子及び第二水晶振動子に汚損物質が付着したときの共振周波数の変化を示すグラフ。
【図5】 図４に示す第一水晶振動子の共振周波数と第二水晶振動子の共振周波数と差分である差分周波数を示すグラフ。
【図6】 図５に示す差分周波数の最初のピークの差分周波数の微分量の変化量を示すグラフ。
【図7】 実施形態の汚損物質量測定装置の第一水晶振動子及び第二水晶振動子に汚損物質が付着したときの差分周波数の時間変化曲線を示すグラフ。
【図8】 図５に示す差分周波数の最初のピークの差分周波数の微分量の変化量から算出される差分周波数の微分量の変化予測値を示すグラフ。
【図9】 図８に示す差分周波数の微分量の変化予測値と、本実施形態の汚損物質量測定装置１０で取得された差分周波数の微分量との関係を示すグラフ。
【図10】 実施形態の汚損物質量測定装置の第二水晶振動子の第二電極に付着した汚損物質の量を示すグラフ。
【図11】 実施形態の汚損物質量測定装置の第二水晶振動子の第二電極に付着した汚損物質の量の積算値を示すグラフ。
【図12】 対象機器に対する実施形態の汚損物質量測定装置の配置の例を示す図。

代表図 図1本件の代表的な図

１０…汚損物質量測定装置、２０…汚損物質検出センサ、２１ａ…第一水晶振動子、２１ｂ…第二水晶振動子、２２ａ…第一電極、２２ｂ…第二電極、２３…水晶板、２４ａ…第一電極、２４ｂ…第二電極、２５ａ…第一周波数発振部、２５ｂ…第二周波数発振部、２６ａ…第一周波数計測部、２６ｂ…第二周波数計測部、２７…温度・湿度計測部、３０…汚損物質量算出装置、３１…計測データ保存部、３２…第一データ照合部、３３…第一演算部、３４…第二演算部、３５…第三演算部、３６…第二データ照合部、３７…第四演算部、４１…筐体、４２…吸気口、４３…排気口、４５…対象機器、Ａ…汚損物質、Ｂ…非汚損物質、Ｃ…腐食生成物

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