特許 7581813出願番号 特願 2020-202576
レーザ式ガス分析計
公報発行日 2024年11月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7581813 ログイン済みの方はこのURLへ
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技術分野
，空間内の各種の測定対象ガスの有無や濃度を分析するレーザ式ガス分析計
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
特許文献１における「圧力に対する作用点」においては必ずしも２ｆ信号が圧力変動に対して不変ではないため，ガス濃度の測定誤差が残留するおそれがある。また，２ｆ信号が極大値となる動作点ではないため，信号ノイズ比が極大値と比べて劣化するおそれがある，という課題があった。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
前記目的を実現するため，本発明に係るレーザ式ガス分析計は，測定対象ガスの吸収線スペクトルの光吸収波長を含む波長帯域のレーザ光を出射するレーザ素子と，前記測定対象ガスの吸収線スペクトルの光吸収波長を含む波長帯域で波長が繰り返し掃引され且つ変調される状態と無変調の状態とを切り替えることができる変調光生成部とを有する発光部と，前記測定対象空間を通過した前記レーザ光を受光する受光素子と，前記受光素子から・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば，測定対象ガスに含まれる特定のガス濃度を，高精度，高安定に測定するレーザ式ガス分析計を提供することができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明を実施するための形態に係るレーザ式ガス分析計の全体構成図
【図2】
本発明を実施するためのレーザ式ガス分析計の信号処理ブロック図
【図3】
本発明を実施するためのレーザ掃引駆動電流と検出信号の概念図
【図4】
レーザを変調させる方法（２ｆ検出法）による検出信号
【図5】
レーザを変調させない方法（直接検出法）による検出信号
【図6】
本発明を実施するための信号処理のフロー
【図7】
従来技術のガス濃度計測装置において，２ｆ信号と変調振幅の関係およびそれらの圧力依存性を示す図
代表図 図1本件の代表的な図
１０：発光部
１１：変調光生成部
１２：レーザ素子
１３：コリメートレンズ
１４：発光部窓板
１５：発光部容器
２０：受光部
２１：受光信号処理部
２２：受光素子
２３：集光レンズ
２４：受光部窓板
２５：受光部容器
３０：検出光
４０：通信線
５０ａ，５０ｂ：壁
５１ａ，５１ｂ：フランジ
５２ａ，５２ｂ：光軸調整フランジ
１１１：レーザ素子
１１２：レーザ素子温度制御回路
１１３：波長掃引・変調電流制御回路
１２１：受光素子
１２２：ＩＶ変換回路
１２３：ハイパスフィルタ
１２４：増幅回路
１２５：ＡＤ変換器（ＡＤＣ）
１２６：検出切り替え部
１２７：ローパスフィルタ（ＬＰＦ）
１２８：間引き処理部
１２９：波形取得部
１３０：面積演算部
１３１：ロックイン検出部
１３２：波形取得部
１３３：振幅演算部
１３４：ガス濃度演算，補正演算部
１３５：制御部
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