技術分野
超音波トランスデューサ及び超音波トランスデューサの製造方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
特許文献1の技術では、圧電振動子を基板に接着させる際、圧電振動子と基板が導電性接着剤と密着するように加圧する必要がある。このため、加圧したときに、圧電振動子が基板に対して位置ずれするおそれがある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
[1]本発明の超音波トランスデューサは、樹脂台と、振動子と、介在部材とを備える。振動子は、樹脂台に設置される。介在部材は、樹脂台と振動子との間に配置され、樹脂台と振動子とに接合される。樹脂台は、レーザ透過性樹脂によって構成されている。介在部材は、レーザ吸収性を有する。
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、振動子の位置ずれを抑制しうる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
図1は、第1実施形態の超音波トランスデューサの断面図である。
【図2】
図2は、第1実施形態の超音波トランスデューサの製造工程を示すフローチャートである。
【図3】
図3は、裏返した複数の振動子の上面に介在部材を配置させた状態をあらわす平面図である。
【図4】
図4は、図3に示す状態の介在部材の上面に樹脂台を配置し、樹脂台の裏面側からレーザを照射している様子をあらわす説明図である。
【図5】
図5は、振動子と、樹脂台に設けられた導電路とを電気接続部材によって接続した状態を、樹脂台の裏面側から見た平面図である。
【図6】
図6は、第1実施形態の振動子、介在部材、及び電気接続部材を裏面側から見た平面図である。
【図7】
図7は、振動子と、樹脂台に設けられた導電路とを電気接続部材によって接続した状態の側面図である。
【図8】
図8は、第2実施形態の超音波トランスデューサの断面図である。
【図9】
図9は、第2実施形態の振動子、介在部材、及び電気接続部材を裏面側から見た平面図である。
1…超音波トランスデューサ
10…樹脂台
11…振動子
12…介在部材
20…基部
21…接合部
201…超音波トランスデューサ
210…樹脂台
211…振動子
212…介在部材
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