特許 7769227出願番号 特願 2022-119962
プラズマ処理装置
公報発行日 2025年11月13
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技術分野
プラズマ処理装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、のような従来のプラズマ処理装置では、そのプラズマ処理の動作時において、アンテナおよびその周囲状態を確認することができないという問題点があった。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
の課題を解決するために、本開示の一側面に係るプラズマ処理装置は、処理室を備えたプラズマ処理装置であって、前記処理室と外部環境とを連通する開口部が設けられた筐体と、前記開口部に脱着可能に取り付けられ、当該開口部を閉塞する外側カバーと、前記開口部の内部にて支持される、誘電性を有する内側カバーと、少なくとも前記外側カバーおよび前記内側カバーによって囲まれて形成される包囲空間に配され、誘導結合性・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本開示の一態様によれば、内側カバーを設けた場合でも、アンテナおよびその周囲状態を確認することができるプラズマ処理装置を提供することができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本開示の実施形態１に係るプラズマ処理装置の構成を説明する図である。
【図2】
図１のＩＩ－ＩＩ線断面図である。
【図3】
プラズマ処理装置の動作例を説明する波形図である。
【図4】
本開示の実施形態２に係るプラズマ処理装置の構成を説明する図である。
【図5】
図４のＶ－Ｖ線断面図である。
【図6】
変形例１に係るプラズマ処理装置でのアンテナの具体的な配線を説明する図である。
【図7】
変形例２に係るプラズマ処理装置でのアンテナの具体的な配線を説明する図である。
【図8】
変形例３に係るプラズマ処理装置でのアンテナの具体的な配線を説明する図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１ プラズマ処理装置
２ 筐体
２ｂ 第１の開口部（開口部）
３ フランジ
４ 真空カバー（外側カバー）
４ｂ、４ｃ、４ｄ ビューポート（光透過部）
５ アンテナカバー（内側カバー）
８、８１、８２、８３、８４ アンテナ
８ａ 直線状部
８ｂ 第１折り曲げ部
８ｃ 第２折り曲げ部
９、９Ａ、９Ｂ 電源
１４、１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ 光学センサ（受光素子）
１５ａ 制御部
１６ 支持部
Ｈ１ 被処理基板（被処理物）
ＡＫ アンテナ収容空間（包囲空間）
ＨＡ プラズマ生成領域（処理室）
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