特許7775321IP Force 特許公報全文掲載

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この発明は、エキスパンド装置に関し、特に、ウエハを含むウエハリング構造を備えるエキスパンド装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、特許第５２４３１０１号公報の破断装置では、冷気導入手段により保護テープを冷却する際、冷気を閉じ込める（密閉する）ために蓋状の筐体によりウエハが取り付けられた保護テープが上方から覆われているので、上方からウエハに近付くことが困難になる。このため、特許第５２４３１０１号公報の破断装置では、冷気導入手段（冷気供給部）により保護テープ（シート部材）を冷却する際、ウエハに上方から接近可能な経路を確保した状態で、保護テープを冷却することが望まれている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

この発明の第１の局面によるエキスパンド装置は、分割ラインに沿って分割可能なウエハと、ウエハが貼り付けられ、伸縮性を有するシート部材と、ウエハを囲んだ状態でシート部材に貼り付けられるリング状のリング状部材とを含むウエハリング構造のシート部材をエキスパンドすることによりウエハを分割するエキスパンド装置であって、リング状部材を把持するクランプ部を含み、クランプ部によりリング状部材を把持した状態で、・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、のように、冷気供給部によりシート部材を冷却する際、ウエハに上方から接近可能な経路を確保した状態で、シート部材を冷却することができる。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 一実施形態によるエキスパンド装置の平面図である。
【図2】 一実施形態によるエキスパンド装置の側面図である。
【図3】 一実施形態によるエキスパンド装置のウエハリング構造の平面図である。
【図4】 図３の１０１－１０１線に沿った断面図である。
【図5】 一実施形態によるエキスパンド装置の破片クリーナの底面図である。
【図6】 一実施形態によるエキスパンド装置のヒートシュリンク部の底面図である。
【図7】 一実施形態によるエキスパンド装置の制御的な構成を示したブロック図である。
【図8】 一実施形態によるエキスパンド装置の半導体チップ製造処理を示したフローチャートである。
【図9】 一実施形態によるエキスパンド装置のクランプ部の側面図である。
【図10】 一実施形態によるエキスパンド装置の下側把持部および上側把持部を示した平面図である。
【図11】 一実施形態によるエキスパンド装置のクランプ部および冷気供給部を示した側面図である。
【図12】 図１１におけるクランプ部および冷気供給部を拡大した拡大図である。
【図13】 一実施形態によるエキスパンド装置の冷気供給部および冷却ユニットを示した側面図である。
【図14】 一実施形態によるエキスパンド装置のエキスパンド部によるシート部材のエキスパンド状態を示した側面図である。
【図15】 一実施形態によるエキスパンド装置のエキスパンド処理の前半を示したフローチャートである。
【図16】 一実施形態によるエキスパンド装置のエキスパンド処理の後半を示したフローチャートである。
【図17】 一実施形態によるエキスパンド装置の接触冷却処理を示したフローチャートである。
【図18】 一実施形態によるエキスパンド装置の下側把持部にウエハリング構造を載置した状態を示した側面図である。
【図19】 一実施形態によるエキスパンド装置の下側把持部にウエハリング構造を載置した状態における下側把持部および上側把持部を示した平面図である。
【図20】 一実施形態によるエキスパンド装置の下側把持部にウエハリング構造を載置させるとともに、上側把持部を閉じた状態を示した平面図である。
【図21】 一実施形態によるエキスパンド装置の位置調整部によりウエハリング構造を位置決めした状態を示した平面図である。
【図22】 一実施形態によるエキスパンド装置の下側把持部および上側把持部によりウエハリング構造を把持した状態を示した側面図である。

代表図 図1本件の代表的な図

６ エキスパンド部 ７ 冷気供給部 ８ 冷却ユニット １３ 第２制御部（制御部） ６３ クランプ部 ６３ａ 下側把持部 ６３ｂ 上側把持部 ７１ａ 冷気供給口 ７２ 温度センサ ８１ 冷却部材 ８１ｂ ペルチェ素子 ９１ リング状部材（固定部材） １００ エキスパンド装置 １２０ 凹部 １２０ａ 内側面 １２０ｂ 底面 ２００ ウエハリング構造 ２１０ ウエハ ２２０ シート部材 ２２０ａ 上面 ２３０ リング状部材 ２３０ｂ 内側面 ２６３ａ 第１スライド移動体（スライド移動体） ２６３ｂ 第２スライド移動体（スライド移動体） ２６３ｃ 第３スライド移動体（スライド移動体） ２６３ｄ 第４スライド移動体（スライド移動体） ２６３ｅ 内側面 Ｆ （凹部の）深さ Ｌ （固定部材の）長さ

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