特許7784470IP Force 特許公報全文掲載

ホーム > 特許ランキング > 日本特殊陶業株式会社 > 特許7784470

技術分野

対象物を保持する保持装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ここで、の静電チャックにおいては、載置面と対象物とが擦れることにより板状部材の表面が細かく削れたり、多孔体が局所的に損傷したりすること等によってパーティクル（微粒子）が発生する。そして、パーティクルが発生して、パーティクルが対象物に付着してしまうと、対象物に対する各種プロセス処理の精度が低下し、製品の歩留まりが低下するおそれがある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するためになされた本開示の一形態は、 保持する対象物が載置される載置面を備える板状部材と、 前記載置面へ不活性ガスを供給するために前記板状部材内に形成された複数のガス孔と、 を有する保持装置において、 前記ガス孔は、前記板状部材の厚さ方向に延びて形成され、その内部に多孔体を備え、 前記ガス孔の前記載置面側の開口の周囲に、溝が形成されていることを特徴とする。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示によれば、載置面に載置された対象物にパーティクルが付着することを抑制することができる保持装置を提供することができる。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)

この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 第１実施形態の静電チャックの概略斜視図である。
【図2】 静電チャックのＸＺ断面の概略構成図である。
【図3】 ガス流路の形状を示す図である。
【図4】 図２に示すＡ部の拡大図である。
【図5】 図２に示すＡ部における平面図である。
【図6】 溝の形成方法を説明する図であって、準備工程を示す図である。
【図7】 溝の形成方法を説明する図であって、加工後を示す図である。
【図8】 第２実施形態におけるガス排出流路の開口付近を拡大して示す図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１ 静電チャック １０ 板状部材 １１ 載置面 １４ 凹部 １６ 溝 ４０ ガス通路 ４４ ガス排出流路 ６０ 多孔体 Ｗ 半導体ウエハ

全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録

［広告欄］

ログインすれば広告は減ります

ログインすれば広告は減ります

Copyright © Science Impact Inc. All Rights Reserved.