特許 7787945出願番号特願 2024-97826
アルミナ質焼結体、および静電チャック

出願人日本特殊陶業株式会社（識別番号 4547）

2026年特許公開件数ランキング 105位 201件（※）

2026年特許取得件数ランキング 139位 134件（※）

公報発行日　2025年12月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7787945　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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アルミナ質焼結体、および静電チャック

しかしながら、セラミックス中に母材とは異なる組成の相が存在していると、プラズマ照射時のエッチングレートの違いから、その層のみが凸の状態となってしまい、母材から脱離した際にパーティクルとなってしまう可能性がある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一つを解決するためになされたものであり、以下の形態として実現できる。

【図1】アルミナ質焼結体の製造方法を示す工程図である。

【図2】実施例の評価結果示す図である。

【図3】サンプルのＣａ－Ｙ相の有無の一例を示す図である。

【図4】焼成時間による２次相の析出の違いを示す図である。

【図5】２次相析出のメカニズムを概念的に示す説明図である。

【図6】プラズマ照射後のサンプルのＳＥＭ像の一例を示す図である。

【図7】第２実施形態の静電チャックの外観構成を概略的に示す斜視図である。

【図8】静電チャックのＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。

１…イットリウム２…２次相１０…アルミナ結晶粒子１００…アルミナ質焼結体１１０…第１層２００…第２層２１０…第２層本体２２０…鍔部３００…冷却部４００…接合部１０００…静電チャックＳ１…第１面Ｓ２…第２面Ｓ３…第３面Ｓ４…第４面

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