技術分野
液体吐出装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、特許文献1に記載の技術では、スペースをとる脱気ユニットを循環流路に配置する必要があるため、液体吐出装置が大型化してしまうという課題がある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明に係わる液体吐出装置は、第1の液体を収容する第1の収容部と、前記第1の収容部に収容された第1の液体を吐出するための吐出素子と、前記第1の収容部に隣接し、前記第1の収容部に収容された第1の液体の圧力を制御するための第2の液体を収容する第2の収容部と、前記第1の収容部と前記第2の収容部を隔てる気体透過性の材料からなる隔壁と、前記第2の収容部に収容された第2の液体中の気体を脱気するための脱気・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、装置の大型化を招くことなく液体の不吐出を抑制することが可能となる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
第1の実施形態のインプリント装置の構成を示した図。
【図2】
第1の実施形態の液体吐出系の構成を示した図。
【図3】
第1の実施形態の吐出部の構成を示した図。
【図4】
第1の実施形態の液体吐出装置の充填液収容部の脱気構成を示した図。
【図5】
第1の実施形態の液体吐出装置の充填液流路の脱気構成を示した図。
【図6】
第1の実施形態の液体吐出装置において水平に分離膜を配置した脱気構成を示した図。
【図7】
第1の実施形態の液体吐出装置の充填液循環型の脱気構成を示した図。
【図8】
第1の実施形態の液体吐出装置の吐出口のクリーニング方法を示した図。
【図9】
第2の実施形態の液体吐出装置の脱気構成を示した図。
1:モールド、8:インプリント材、10:液体吐出装置、11:吐出部、14:分離膜、15:インプリント材収容部、16:充填液収容部、17:充填液、18:充填液流路、19:開口部、20:気体透過性膜、100:インプリント装置、101:液体吐出系
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