特許 7831085出願番号 特願 2022-58792
微動装置
出願人 日本精工株式会社（識別番号 4204）
2026年 特許公開件数ランキング 131位 177件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 131位 152件（※）
公報発行日 2026年3月17
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7831085 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
微動装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
特許文献１のテーブル装置において、微動テーブルの姿勢を調整するために、微動テーブルを支持している基部に対して微動テーブルを回転させたい要望がある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本開示の態様は、基部と、微動テーブルと、前記基部に配置され、前記基部に対して前記微動テーブルを回転させる回転装置と、を備え、前記回転装置は、前記微動テーブルの第１被支持部を支持する第１移動部材を含み、第１軸線に沿って前記第１移動部材を移動させる第１駆動部と、前記微動テーブルにおいて前記第１被支持部と平面視での位置が異なる第２被支持部を支持する第２移動部材を含み、前記第１軸線と平行な第２軸線に・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本開示の態様によれば、簡便な構成で微動テーブルを基部に対して回転させることができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
図１は、本微動装置および微動装置が取り付けられる搬送装置の一例を示す平面図である。
【図2】
図２は、本微動装置の平面図である。
【図3】
図３は、本微動装置の側面図である。
【図4】
図４は、本微動装置の断面図である。
【図5】
図５は、本第２駆動部および第３駆動部の軸方向断面図である。
【図6】
図６は、本第４駆動部の軸方向断面図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１ 微動装置
１０ 基部
２０ 微動テーブル
２３ 第１被支持部
２３ａ テーパ面
２４ 第２被支持部
２４ａ 第１平面
２５ 第３被支持部
２５ａ 第２平面
３０ 回転装置
３１ 第１駆動部
３１ｄ 第１移動部材
３１ｄ１ 第１球面
３１ｅ 第１軸線
３２ 第２駆動部
３２ｄ 第２移動部材
３２ｄ１ 第２球面
３２ｅ 第２軸線
３３ 第３駆動部
３３ｄ 第３移動部材
３３ｄ１ 第３球面
３３ｅ 第３軸線
３４ 第４駆動部
３４ｄ 第４移動部材
３４ｄ１ 第４球面
３４ｅ 第４軸線
５０ 第１マグネット
６０ 第２マグネット
Ｇ 重心
Ｌ 直線
Ｐ１ 第１交点
Ｐ２ 第２交点
Ｐ３ 第３交点
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