１０ ウエハ載置台、２０ セラミックプレート、２１ ウエハ載置面、２１ａ シールバンド、２１ｂ 円形小突起、２１ｃ 基準面、２２ 電極、２４ プラグ配置穴、２４ａ 内周面、２６ フォーカスリング載置面、３０ ベースプレート、３２ 冷媒流路、３４ ガス穴、３４ａ 大径部、４０ 金属接合層、４２ 貫通穴、５０ プラグ、５０ａ 外周面、５２ 緻密部、５４ 通気部、５６ 上面、５８ 下面、６０ フォーカスリング、６２ 円周溝、６４ａ リング部、６４ｂ 導入部、６４ｃ 分配部、７０ 圧縮試験機、７１ 台座、７１ａ 載置面、７１ｂ 貫通穴、７２ カバープレート、７２ａ 挿通穴、７３ 打ち抜きピン、７４ 試験片、９０ 金属接合材、９２ 貫通穴、９４ 接合体、１１０ ウエハ載置台、２１０ ウエハ載置台、３５０ プラグ、３５２ 緻密部、３５４ 通気穴、４５０ プラグ、４５２ 緻密部、４５４ 通気溝、５１０ ウエハ載置台、Ｗ ウエハ、α 傾斜角、θ 傾斜角。