特許 7889078出願番号 特願 2022-90658
アクチュエータ
出願人 日本精工株式会社（識別番号 4204）
2026年 特許公開件数ランキング 132位 174件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 131位 143件（※）
公報発行日 2026年7月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7889078 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
アクチュエータに関し、特に真空シール構造を備えるアクチュエータ
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、特許文献１の構成では、磁性流体シールを何層も重ねて使用するので、回転導入装置（アクチュエータ）の真空シール構造のサイズが大きくなってしまう。
本発明は課題を解決すべく、コンパクトで且つ信頼性の高い真空シール構造を備えるアクチュエータを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
目的を達成するために、本発明の一つの態様によるアクチュエータは、ロータ及びステータを有するモータと、前記モータを収容するハウジングと、前記モータにより回転駆動され、一端が真空チャンバ内に位置し、他端が大気側に位置する回転伝達部材と、前記回転伝達部材を回転可能に支持する軸受と、前記真空チャンバと前記大気側の間に形成された少なくとも１つの中間真空室と、前記中間真空室の大気側を封止する樹脂シー・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、アクチュエータは、コンパクトで且つ信頼性の高い真空シール構造を備えることができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
図１は本発明の実施形態１に係るアクチュエータの概略図である。
【図2】
図２は図１のアクチュエータの概念図である。
【図3】
図３は樹脂シールの断面図である。
【図4】
図４は実施形態２のアクチュエータの垂直断面図である。
【図5】
図５は実施形態２のアクチュエータの水平断面図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１０…アクチュエータ、１０Ａ…アクチュエータ、１２…ハウジング、１５…出力軸（回転体）、１６、１７…軸受、１８…モータ、２０…製造装置、２０ａ…製造装置の底面、２２…真空チャンバ、２４…回転中心軸、２５…大気通路、２７…排気通路、３０…ターボ分子ポンプ、４０…ドライポンプ、５０…磁性流体シール、５２…樹脂シール、５４…第１検出器（回転センサ）、５６…第２検出器（回転センサ）、６０…中間真空室、６２ｃ…リップ面、６３…スプリング、７０…冷却構造、７４…溝、７５…冷媒、Ｈ１…熱の流れ、Ｈ２…熱の流れ
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