工具径が２ｍｍ以下のような小径工具においては工具性能に与えるドロップレットの影響が大きくなり易い。本発明者は、アークイオンプレーティング法で被覆したＡｌリッチなＡｌＣｒ窒化物はドロップレットが多くなり易く、工具の耐久性に改善の余地があることを確認した。 ドロップレットは、硬質皮膜の成膜にスパッタリング法を用いることで低減できる。しかし、単にスパッタリング法を用いて硬質皮膜を成膜した場合、アークイオンプレーティング法を用いて形成された硬質皮膜よりも耐摩耗性に劣る場合があった。 本発明はの事情に鑑み、ＡｌリッチなＡｌＣｒ窒化物または炭窒化物について、スパッタリング法の適用によりドロップレットを低減しつつ、アークイオンプレーティング法を用いた場合と同等以上の耐久性を実現する被覆工具を提供することを目的とする。

本発明の一態様の被覆工具は、基材と、前記基材の上に硬質皮膜を有する被覆工具であって、 前記硬質皮膜は、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、Ａｌを７０原子％以上９０原子％以下で含有しており、Ｃｒを１０原子％以上３０原子％以下で含有しており、金属元素（半金属を含む）と非金属元素の総量に対して、アルゴン（Ａｒ）を０．５０原子％以下で含有している窒化物または炭窒化物であり、結晶構造は立方晶と・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る