特許7890703IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

欠陥検査方法及び欠陥検査装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

製品における欠陥の検査を精度良く行うには、検査対象の欠陥項目に応じた適切な検査アルゴリズム及び検査パラメータに基づいて、製品を撮像することで取得される製品画像の画像処理を行うことが望ましい。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の一態様は、複数の欠陥項目の中から、複数の欠陥項目を表す名称に基づいてユーザにより検査対象として選択される欠陥項目である欠陥検査項目を特定する工程と、複数の検査アルゴリズムの中から、欠陥検査項目に基づいて選定される１以上の検査アルゴリズムである選定検査アルゴリズムを特定する工程と、欠陥品画像を含む学習用画像と、選定検査アルゴリズムとに基づいて、検査パラメータを提案する工程と、検査対象製・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

ユーザの作業負担の増大を抑えつつ、精度の良い欠陥検査を安定的に行うのに有利である。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、チップ（電子部品）などの製品の欠陥を検査するための欠陥検査方法の一例を示すフローチャートである。
【図2】 図２は、欠陥検査方法（特に図１のフローチャートに対応する欠陥検査方法）の一例を示すフロー図である。
【図3】 図３は、欠陥検査方法（特に図１のフローチャートに対応する欠陥検査方法）の他の例を示すフロー図である。
【図4】 図４は、欠陥検査方法（特に図１のフローチャートに対応する欠陥検査方法）の他の例を示すフロー図である。
【図5】 図５は、明検査アルゴリズムの一例を示すフロー図である。
【図6】 図６は、欠陥検査装置のハード構成の一例を示すブロック図である。
【図7】 図７は、インターフェースデバイスの表示部における表示画面の関係例を示す。
【図8】 図８は、撮像画面の一例を示す。
【図9】 図９は、アノテーション画面の一例を示す。
【図10】 図１０は、レシピ編集画面の一例を示す。
【図11】 図１１は、パラメータ自動調整画面の一例を示す。
【図12A】 図１２Ａは、自動調整結果比較評価画面の一例を示す。
【図12B】 図１２Ｂは、自動調整結果比較評価画面における「欠陥項目リスト及び画像リスト」の表示例を示す。
【図13】 図１３は、パラメータ評価画面の一例を示す。

代表図 図1本件の代表的な図

１０ 欠陥検査装置、２０ 製品搬送部、２１ 製品投入部、２２ 製品搬出部、２９ 分類箱部、３１ 第１撮像部、３６ 第６撮像部、３７ 画像取得部、３８ 照明部、４０ 検査システム部、４１ システム制御部、４２ システム記憶部、４３ 画像記憶部、４４ 検査実行部、４５ アノテーション処理部、４６ 検査アルゴリズム選定部、４７ 検査パラメータ探索部、５０ インターフェースデバイス、５１ 表示部、５２ 操作部、Ｐ 製品、Ｖ１ レシピ選択画面、Ｖ２ 装置運転画面、Ｖ３ 撮像画面、Ｖ４ アノテーション画面、Ｖ５ レシピ編集画面、Ｖ６ パラメータ自動調整画面、Ｖ７ 自動調整結果比較評価画面、Ｖ８ パラメータ評価画面

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