１ａ…電極端子、１ｂ…第１ランド、２，２ｆ…第２ランド、２ｂ…凹部、３…第３ランド、４…連通孔、５…基板、５ａ…上面、５ｂ…下面、６…実装領域、７…接合領域、８…キャップ、８ａ…キャビティ、８ｂ…フランジ部、９…ハンダクリーム、９ａ…接合材、９ｂ…封止材、１０…基材、１１…樹脂、１２，１３…第２ランド、１２ｂ…凹部、１２ｃ…接続部、１８…蓋体、１８ａ…凹部、２０…基材、２１，２２，２３…凹部、２５…第１ジャイロセンサー素子、２６…第２ジャイロセンサー素子、２７…第３ジャイロセンサー素子、３０…基材、３１，３２，３３…凹部、３５…第１加速度センサー素子、３６…第２加速度センサー素子、３７…第３加速度センサー素子、３８…蓋体、３８ａ…凹部、４１…台座板、４４…連通孔、４５…第１慣性センサー、４６…第２慣性センサー、５０…センサーデバイス、６１…基板、６２…コネクター、７０…ケース、７０ｂ…凹部、７１…実装用端子、７２…開口部、７７…凸部、７７ａ…上面、８１…キャップ、８１ｂ…フランジ部、８１ｃ…連通孔、９２…基部、９３…検出用振動腕、９４…連結腕、９５，９６…駆動用振動腕、９７…金属バンプ、１００，１１０，１２０，１３０，１４０，１５０…慣性計測装置、２００ｘ，２００ｙ，２００ｚ…角速度センサー、２０１…振動ジャイロセンサー素子、２０２…ベース、２０３…第１基板、２０３ａ…上面、２０３ｂ…下面、２０４…第２基板、２０５…実装端子、２０６…接合部材、２０７…リッド、３００…慣性計測ユニット、ＩＣ６５…制御、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３…収容空間、ＳＰ…内部空間。