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特許 7907611出願番号 特願 2023-569499
ガラス微粒子堆積体の製造装置および製造方法
出願人 住友電気工業株式会社（識別番号 2130）
2026年 特許公開件数ランキング 101位 473件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 48位 479件（※）
公報発行日 2026年8月19
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7907611 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
ガラス微粒子堆積体の製造装置および製造方法に関する。本出願は、２０２１年１２月２２日出願の日本出願第２０２１－２０８１６０号に基づく優先権を主張し、前記日本出願に記載された全ての記載内容を援用するものである。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
図１は、第一のガラス微粒子堆積体の製造装置を概略的に示した図である。
【図2】
図２は、第二のガラス微粒子堆積体の製造装置を概略的に示した図である。
【図3】
図３は、図２に示す反応容器を模式的に表した斜視図である。
【図4】
図４は、反応容器中部と排気管と外側容器との位置関係を示す模式図である。
【図5】
図５は、反応容器における熱膨張を説明するための模式図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１，１０１：（ガラス微粒子堆積体の）製造装置
２：昇降回転装置
３：支持棒
４：仕切板
５：出発ロッド
６：当接部
７：支持装置
８ａ，８ｂ：排気管
１１：原料容器
１２：液体シロキサン
１３：供給配管
１４：気化部
１５：温調配管
１６：バーナ
２０，１２０：反応容器
２１：反応容器上部
２２：反応容器中部
２２ａ：扉部
２２ｂ：上端
２２ｃ：上端開口
２２ｄ：排気部
２２ｅ：排気用開口
２３：反応容器下部
３０：外側容器
３１：クリーンエア供給装置
４０：制御部
ｄ１，ｄ２：距離
Ｍ：ガラス微粒子堆積体
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