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量子ビット・デバイスに組み込まれ得る１つまたは複数のシリコン・ベースのジョセフソン接合に関し、より詳細には、垂直構造配向（vertical structure orientation）で実装され得る超伝導シリコン材料を含むジョセフソン接合

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、垂直スタックで配向され得るシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図1B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、垂直スタックで配向され得るシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図2】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図3】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第２の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図4】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第３の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図5A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第４の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図5B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第４の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図6A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第５の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図6B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第５の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図7A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第６の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図7B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第６の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的上面図である。
【図8A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第７の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図8B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第７の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図9A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第８の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図9B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第８の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図10A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第９の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図10B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第９の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図11A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１０の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図11B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１０の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図12A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、１つまたは複数の分離インプラント（isolation implant）を有するシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図12B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、１つまたは複数の分離インプラントを有するシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図13】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図14A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第２の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図14B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第２の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図15A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第３の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図15B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第３の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図16A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第４の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図16B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第４の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図17A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第５の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図17B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第５の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図18A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第６の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図18B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第６の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図19A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第７の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図19B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第７の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図20A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第８の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図20B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第８の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図21A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第９の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図21B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第９の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図22A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１０の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図22B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１０の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図23A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１１の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図23B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１１の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図24A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１２の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図24B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１２の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図25A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１３の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図25B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１３の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図26A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１４の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図26B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１４の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図27A】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１５の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な断面図である。
【図27B】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、製造の第１５の段階の間のシリコン・ベースのジョセフソン接合を備える装置の例示的で非限定的な上面図である。
【図28】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、１つまたは複数のシリコン・ベースのジョセフソン接合の製造を容易にし得る、例示的で非限定的な方法の流れ図である。
【図29】 本明細書で説明される１つまたは複数の実施形態による、１つまたは複数のシリコン・ベースのジョセフソン接合の製造を容易にし得る、例示的で非限定的な方法の流れ図である。

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