技術分野
セラミックス製のセンサケースにセンサチップが収容された圧力センサおよび圧力センサの製造方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、ガラスは、歪を与えると応力が発生し（弾性）、かつ、その応力が時間経過とともに徐々に緩和する（粘性）という応力緩和現象を起こすものであるから、ガラス台座にセンサチップを接合して構成された圧力センサは圧力の検出精度が低くなるおそれがあった。この理由は、ガラス台座にセンサチップを接合したときにガラス台座に応力が発生し、この応力が時間経過に伴って緩和されるからである。すなわち、ガラス台座の応力が緩和されるにしたがってセンサチップにガラス台座側から外力が加えられるようになってセンサの出力値が徐々に変わる、いわゆるドリフトを起こすから、検出精度が低くなる。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
この目的を達成するために本発明に係る圧力センサは、圧力伝達媒体が導入される圧力導入口を有し、前記圧力伝達媒体の圧力を検出するセンサチップと、セラミックス材料によって前記センサチップを覆う形状に形成され、前記センサチップの前記圧力導入口を有する取付面が接着される接着面および前記圧力導入口に連通する貫通孔を有するセンサケース本体と、前記貫通孔に挿入されて前記センサケース本体に半田付けされた導圧パ・・・ 続きを
知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明においては、導圧パイプをセンサチップとは離間させて配置できるから、センサチップを絶縁することができる。また、導圧パイプが挿入されたセンサケース本体の貫通孔がセンサケース本体の内側から充填材によって塞がれるから、セラミックス製センサケース本体の層状の断面が露出する貫通孔に圧力伝達媒体が入ることがない。
本発明に係る圧力センサの製造方法によれば、センサケース本体の貫通孔をセンサケース本体の内側から塞ぐ接着剤と、センサチップをセンサケース本体に接着する接着剤とを個別に硬化させることができる。このため、貫通孔側の接着剤で発生した応力がセンサチップ側の接着剤に伝達されることを防ぐことができるから、センサチップの検出精度をより一層高くすることができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)
この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
図１は、本発明に係る圧力センサの使用例を示す断面図である。
【図2】
図２は、第１の実施の形態による圧力センサの斜視断面図である。
【図3】
図３は、センサケース部分の斜視断面図である。
【図4】
図４は、要部を拡大して示す断面図である。
【図5】
図５は、圧力センサの製造方法を示すフローチャートである。
【図6】
図６は、センサチップの斜視図である。
【図7】
図７は、センサケース本体の製造過程を示す斜視図である。
【図8】
図８は、導圧パイプの製造過程を示す図である。
【図9】
図９は、センサケース本体の一部と導圧パイプの一部を示す断面図である。
【図10】
図１０は、センサケース本体の一部と導圧パイプの一部を示す断面図である。
【図11】
図１１は、センサケース部分の断面図である。
【図12】
図１２は、センサチップの圧力導入口と導圧パイプの構成を変えた第２の実施の形態を示す斜視断面図である。
１…圧力センサ、１７…第１の導圧パイプ、１８…第２の導圧パイプ、１７ａ，１８ａ…突出部、２１…センサチップ、２２…第１の圧力室（圧力導入口）、２３…第２の圧力室（圧力導入口）、２４…圧力伝達媒体、２６…センサケース本体、２６ａ…底部、２８…接着部（凸部）、２８ａ…取付面（先端面）、２９ａ…底面（接着面）、３１…第１の貫通孔、３２…第２の貫通孔、３３…半田、３４…充填材、３５，３７…半田付け用のランド、４６…弾性接着剤（絶縁性を有する接着剤）、４７…大径穴（凹陥部）、Ｌ…絶縁距離、Ｓ１…センサチップを形成するステップ、Ｓ２…センサケース本体を形成するステップ、Ｓ３…導圧パイプを形成するステップ、Ｓ５…センサケース本体に導圧パイプを半田付けするステップ、Ｓ６…接着剤を充填するステップ、Ｓ７…センサケース本体にセンサチップを接着するステップ。
ログイン・ユーザー登録
