発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

の技術的解決策を通して、本開示は以下の有益な効果を有する。

本開示において、エピタキシャルプロセスおよび洗浄プロセスは密接に組み合わされ、エピタキシャルウエハにおける少数キャリア寿命は、この２つのプロセスの連携によって改善されることができる。特に、中電圧エピタキシャルウエハ（８μｍ～２０μｍの厚さを有する）では、少数キャリア寿命の改善が顕著であり、本開示の方法において他の外部汚染は導入されない。

本開示の例の利点は、一部は以下の説明において説明され、一部は明細書から明白であるか、または本開示の例の実践によって学習されてもよい。

添付の図面は、本開示のさらなる理解を提供することを意図し、本明細書の一部を構成し、以下の発明を実施するための形態とともに本開示を説明するのに役立つが、本開示の限定を構成しない。