特許文献１に開示された電子源を実際に長期動作させた後のチップを観察すると、ヒーターの導電支柱に接触している近傍で六ほう化物の蒸着が認められた。ヒーターにおける導電支柱との接触部近傍は導電支柱へ熱伝導によって温度が低下するため、チップから蒸発した六ほう化物が再蒸発できずにこの領域に蒸着すると推察される（図５（ｂ）参照）。図５（ｂ）は、ヒーター１５ａ，１５ｂの近傍に電子源１１を構成する材料が蒸着した状態を模式的に示す縦断面図である。導電支柱１７ａ，１７ｂの上面と、これに連続してヒーター１５ａ，１５ｂの上面の一部を覆うように蒸着物Ｄが付着している。図５（ａ）及び図５（ｂ）における矢印は通電時の電流を表している。蒸着物Ｄが付着していない状態においては図５（ａ）に示すようにヒーター１５ａ，１５ｂに安定的に電気が流れる。これに対し、図５（ｂ）に示すように蒸着物Ｄが付着すると、蒸着物Ｄがヒーター１５ａ，１５ｂにおける安定した電気の流れを阻害する。なお、特許文献１に記載の発明においては、発熱体の所定の領域に絶縁性被覆を形成することで六ほう化物の蒸着に起因する信頼性の低下を抑制している。

本開示の一側面はエミッターを提供する。このエミッターは、通電によって発熱する第一及び第二のヒーターと、第一及び第二のヒーターにより加熱されて電子を放出する第一材料で構成された電子源と、第一及び第二のヒーターと電子源との間にそれぞれ介在し、第一材料よりも熱伝導率が低い第二材料で構成された中間部材とを備える。