特許7929133IP Force 特許公報全文掲載

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本発明の一態様は、半導体装置、表示装置、表示モジュール、及び電子機器に関する。本発明の一態様は、半導体装置の作製方法、及び表示装置の作製方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様は、微細なサイズのトランジスタを有する半導体装置、及びその作製方法を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、小型の半導体装置、及びその作製方法を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、オン電流の大きいトランジスタを有する半導体装置、及びその作製方法を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、性能の高い半導体装置、及びその作製方法を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、信頼性の高い半導体装置、及びその作製方法を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、生産性の高い半導体装置の作製方法を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、新規な半導体装置、およびその作製方法を提供することを課題の一とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、を有する半導体装置である。第１のトランジスタは、第１の導電層と、第１の導電層上の第１の絶縁層と、第１の絶縁層上の第２の絶縁層と、第２の絶縁層上の第２の導電層と、第１の半導体層と、第３の絶縁層と、第３の導電層と、を有する。第１の絶縁層、第２の絶縁層及び第２の導電層は、第１の導電層に達する開口を有する。第１の半導体層は、第２の導電層の上・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様により、微細なサイズのトランジスタを有する半導体装置、及びその作製方法を提供できる。または、本発明の一態様により、小型の半導体装置、及びその作製方法を提供できる。または、本発明の一態様により、オン電流の大きいトランジスタを有する半導体装置、及びその作製方法を提供できる。または、本発明の一態様により、性能の高い半導体装置、及びその作製方法を提供できる。または、本発明の一態様により、信頼性の高い半導体装置、及びその作製方法を提供できる。または、本発明の一態様により、生産性の高い半導体装置の作製方法を提供できる。または、本発明の一態様により、新規な半導体装置、およびその作製方法を提供できる。

なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

図１Ａは、半導体装置の一例を示す上面図である。図１Ｂ及び図１Ｃは、半導体装置の一例を示す断面図である。図２Ａ乃至図２Ｃは、半導体装置の一例を示す斜視図である。図３Ａ及び図３Ｂは、半導体装置の一例を示す斜視図である。図４Ａは、半導体装置の一例を示す上面図である。図４Ｂは、半導体装置の一例を示す断面図である。図５Ａは、半導体装置の一例を示す上面図である。図５Ｂ及び図５Ｃは、半導体装置の一例を示す断面図である。図６Ａ及び図６Ｂは、半導体装置の一例を示す断面図である。図７Ａは、半導体装置の一例を示す上面図である。図７Ｂ及び図７Ｃは、半導体装置の一例を示す断面図である。図８Ａ乃至図８Ｃは、半導体装置の一例を示す斜視図である。図９Ａ及び図９Ｂは、半導体装置の一例を示す斜視図である。図１０Ａは、半導体装置の一例を示す上面図である。図１０Ｂは、半導体装置の一例を示す断面図である。図１１Ａ及び図１１Ｂは、半導体装置の一例を示す断面図である。図１２Ａ及び図１２Ｂは、半導体装置の一例を示す断面図である。図１３Ａは、半導体装置の一例を示す上面図である。図１３Ｂは、半導体装置の一例を示す断面図である。図１４は、半導体装置の一例を示す断面図である。図１５Ａは、半導体装置の一例を示す上面図である。図１５Ｂは、半導体装置の一例を示す断面図である。図１６Ａ及び図１６Ｂは、半導体装置の一例を示す断面図である。図１７Ａは、半導体装置の一例を示す上面図である。図１７Ｂは、半導体装置の一例を示す断面図である。図１８Ａは、半導体装置の一例を示す斜視図である。図１８Ｂ及び図１８Ｃは、トランジスタ群の等価回路図である。図１９Ａ及び図１９Ｂは、半導体装置の一例を示す斜視図である。図２０Ａ及び図２０Ｂは、半導体装置の一例を示す斜視図である。図２１Ａは、半導体装置の一例を示す上面図である。図２１Ｂは、半導体装置の一例を示す断面図である。図２２Ａは、半導体装置の一例を示す斜視図である。図２２Ｂ及び図２２Ｃは、トランジスタ群の等価回路図である。図２３Ａ及び図２３Ｂは、半導体装置の一例を示す斜視図である。図２４Ａ及び図２４Ｂは、半導体装置の一例を示す斜視図である。図２５Ａ乃至図２５Ｅは、半導体装置の作製方法の一例を示す断面図である。図２６Ａ乃至図２６Ｄは、半導体装置の作製方法の一例を示す断面図である。図２７Ａ乃至図２７Ｃは、半導体装置の作製方法の一例を示す断面図である。図２８Ａ乃至図２８Ｃは、半導体装置の作製方法の一例を示す断面図である。図２９Ａ及び図２９Ｂは、半導体装置の作製方法の一例を示す断面図である。図３０Ａ及び図３０Ｂは、半導体装置の作製方法の一例を示す断面図である。図３１Ａ及び図３１Ｂは、半導体装置の作製方法の一例を示す断面図である。図３２Ａ及び図３２Ｂは、半導体装置の作製方法の一例を示す断面図である。図３３Ａ及び図３３Ｂは、半導体装置の作製方法の一例を示す断面図である。図３４Ａ及び図３４Ｂは、半導体装置の作製方法の一例を示す断面図である。図３５Ａは、表示装置の斜視図である。図３５Ｂは、表示装置のブロック図である。図３６Ａは、ラッチ回路の回路図である。図３６Ｂは、インバータ回路の回路図である。図３７Ａ及び図３７Ｂは、画素回路の回路図である。図３７Ｃは、画素回路の一例を示す断面図である。図３８Ａ及び図３８Ｂは、画素回路の一例を示す断面図である。図３９は、表示装置の構成例を示す断面図である。図４０は、表示装置の構成例を示す断面図である。図４１Ａ乃至図４１Ｃは、表示装置の構成例を示す断面図である。図４２は、表示装置の構成例を示す断面図である。図４３Ａ乃至図４３Ｇは、画素の一例を示す図である。図４４Ａ乃至図４４Ｋは、画素の一例を示す図である。図４５Ａ乃至図４５Ｆは、発光デバイスの構成例を示す図である。図４６Ａ乃至図４６Ｃは、発光デバイスの構成例を示す図である。図４７Ａ及び図４７Ｂは、表示装置の構成例を示す図である。図４８Ａ乃至図４８Ｄは、表示装置の構成例を示す図である。図４９Ａ乃至図４９Ｃは、表示装置の構成例を示す図である。図５０Ａ乃至図５０Ｄは、表示装置の構成例を示す図である。図５１Ａ乃至図５１Ｆは、表示装置の構成例を示す図である。図５２Ａ乃至図５２Ｆは、表示装置の構成例を示す図である。図５３Ａ乃至図５３Ｆは、電子機器の一例を示す図である。図５４Ａ乃至図５４Ｆは、電子機器の一例を示す図
ＡＮＯ：配線、Ｃ３１：容量、Ｃ４１：容量、ＧＬ：配線、ＩＮＶ：インバータ回路、ＬＡＴ：ラッチ回路、ＬＩＮ：端子、ＲＯＵＴ：端子、ＳＬ：配線、ＳＭＰ：端子、Ｔｒ３１：トランジスタ、Ｔｒ３３：トランジスタ、Ｔｒ３５：トランジスタ、Ｔｒ３６：トランジスタ、Ｔｒ４１：トランジスタ、Ｔｒ４３：トランジスタ、Ｔｒ４５：トランジスタ、Ｔｒ４７：トランジスタ、ＶＣＯＭ：配線、１０Ａ：半導体装置、１０Ｂ：半導体装置、１０Ｃ：半導体装置、１０Ｄ：半導体装置、１０Ｅ：半導体装置、１０Ｆ：半導体装置、１０Ｇ：半導体装置、１０Ｈ：半導体装置、１０Ｊ：半導体装置、１０Ｋ：半導体装置、１０：半導体装置、５０Ａ：表示装置、５０：表示装置、５１Ａ：画素回路、５１：画素回路、５２Ａ：トランジスタ、５２Ｂ：トランジスタ、５２Ｃ：トランジスタ、５３：容量、６１Ｂ：発光デバイス、６１Ｇ：発光デバイス、６１Ｒ：発光デバイス、６１：発光デバイス、１００＿１：トランジスタ、１００＿２：トランジスタ、１００＿３：トランジスタ、１００＿４：トランジスタ、１００＿ｐ：トランジスタ、１００＿ｑ：トランジスタ、１００Ａ：トランジスタ、１００Ｂ：トランジスタ、１００Ｃ：トランジスタ、１００Ｄ：トランジスタ群、１００Ｅ：トランジスタ群、１００：トランジスタ、１０１：基板、１０２：基板、１０４ｆ：導電膜、１０４：導電層、１０６Ａ：絶縁層、１０６Ｂ：絶縁層、１０６Ｃ：絶縁層、１０６Ｄ：絶縁層、１０６：絶縁層、１０７：絶縁層、１０８＿１：半導体層、１０８＿２：半導体層、１０８＿３：半導体層、１０８＿４：半導体層、１０８Ｄ：領域、１０８ｆ：金属酸化物膜、１０８Ｌ：領域、１０８：半導体層、１０９：半導体層、１１０ａ：絶縁層、１１０ａｆ：絶縁膜、１１０ｂ：絶縁層、１１０ｂｆ：絶縁膜、１１０ｃ：絶縁層、１１０ｃｆ：絶縁膜、１１０ｆ：絶縁膜、１１０：絶縁層、１１１Ｂ：画素電極、１１１Ｇ：画素電極、１１１Ｒ：画素電極、１１１：画素電極、１１２ａ：導電層、１１２ａ＿１：導電層、１１２ａ＿１ｆ：導電膜、１１２ａ＿２：導電層、１１２ａ＿２Ａ：導電層、１１２ａ＿２ｆ：導電膜、１１２Ｂ：導電層、１１２ｂ：導電層、１１２ｃ：導電層、１１２ｃ＿１：導電層、１１２ｃ＿２：導電層、１１２ｄ：導電層、１１２ｅ：導電層、１１２ｅ＿１：導電層、１１２ｅ＿２：導電層、１１２ｆ：導電膜、１１３Ｂ：層、１１３Ｇ：層、１１３Ｒ：層、１１４：共通層、１１５：共通電極、１１６ａ：導電層、１１６ｂ：導電層、１１７：遮光層、１１８Ｂ：マスク層、１１８Ｇ：マスク層、１１８Ｒ：マスク層、１１９Ｂ：マスク層、１１９Ｇ：マスク層、１１９Ｒ：マスク層、１２０ａ：絶縁層、１２０ｂ：絶縁層、１２０ｆ：絶縁膜、１２０：絶縁層、１２３：導電層、１２４Ｂ：導電層、１２４Ｇ：導電層、１２４ｐ：導電層、１２４ｑ：導電層、１２４Ｒ：導電層、１２５：絶縁層、１２６Ｂ：導電層、１２６Ｇ：導電層、１２６ｐ：導電層、１２６ｑ：導電層、１２６Ｒ：導電層、１２７：絶縁層、１２８：層、１２９Ｂ：導電層、１２９Ｇ：導電層、１２９ｐ：導電層、１２９ｑ：導電層、１２９Ｒ：導電層、１３０Ｂ：発光デバイス、１３０Ｇ：発光デバイス、１３０Ｒ：発光デバイス、１３１：保護層、１３３：開口、１３５：開口、１３７ａ：開口、１３７ｂ：開口、１３９ａ：開口、１３９ｂ：開口、１４０：接続部、１４１＿１：開口、１４１＿４：開口、１４１：開口、１４２：接着層、１４３＿１：開口、１４３＿２：開口、１４３＿３：開口、１４３＿４：開口、１４３：開口、１４５＿１：開口、１４５＿２：開口、１４５＿３：開口、１４５＿４：開口、１４５：開口、１４７ａ：開口、１４７ｂ：開口、１４９：開口、１５０：絶縁層、１５２：基板、１５３：絶縁層、１６５：配線、１６６：導電層、１７２：ＦＰＣ、１７３：ＩＣ、１８０：金属酸化物層、１９０：不純物、１９５：絶縁層、１９７：絶縁層、１９９：絶縁層、２００Ａ：トランジスタ、２００Ｂ：トランジスタ、２００Ｃ：トランジスタ、２００Ｄ：トランジスタ、２００Ｅ：トランジスタ、２００Ｆ：トランジスタ、２００Ｇ：トランジスタ、２００Ｈ：トランジスタ、２００：トランジスタ、２０１：トランジスタ、２０２＿１：導電層、２０２＿２：導電層、２０２：導電層、２０３：導電層、２０４：導電層、２０５Ｇ：トランジスタ、２０５Ｒ：トランジスタ、２０６：導電層、２０８Ｄ：領域、２０８Ｌ：領域、２０８：半導体層、２１０ａ：絶縁層、２１０ｂ：絶縁層、２１０ｃ：絶縁層、２１０：絶縁層、２１２ａ：導電層、２１２ｂ：導電層、２１４：接続部、２３０ａ：画素、２３０ｂ：画素、２３０ｃ：画素、２３０ｄ：画素、２３０ｅ：画素、２３０：画素、２３１：第１駆動回路部、２３２：第２駆動回路部、２３３：周辺駆動回路、２３５：表示部、２３６：配線、２３７：配線、２３９：絶縁層、２４０Ａ：画素、２４０Ｂ：画素、２４０：画素、２４２：接続層、３１１Ｃ：接続電極、３１１Ｇ：画素電極、３１１Ｒ：画素電極、３１１：画素電極、３１２Ｂ：有機層、３１２Ｇ：有機層、３１２Ｒ：有機層、３１３：共通電極、３１４：有機層、３２１：保護層、３２５：絶縁層、３２６：樹脂層、３３０：接続部、３３１：絶縁層、７６１：下部電極、７６２：上部電極、７６３ａ：発光ユニット、７６３ｂ：発光ユニット、７６３ｃ：発光ユニット、７６３：ＥＬ層、７６４：層、７７１ａ：発光層、７７１ｂ：発光層、７７１ｃ：発光層、７７１：発光層、７７２ａ：発光層、７７２ｂ：発光層、７７２ｃ：発光層、７７２：発光層、７７３：発光層、７８０ａ：層、７８０ｂ：層、７８０ｃ：層、７８０：層、７８１：層、７８２：層、７８５：電荷発生層、７９０ａ：層、７９０ｂ：層、７９０ｃ：層、７９０：層、７９１：層、７９２：層、７０００：表示部、７１００：テレビジョン装置、７１０１：筐体、７１０３：スタンド、７１１１：リモコン操作機、７２００：ノート型パーソナルコンピュータ、７２１１：筐体、７２１２：キーボード、７２１３：ポインティングデバイス、７２１４：外部接続ポート、７３００：デジタルサイネージ、７３０１：筐体、７３０３：スピーカ、７３１１：情報端末機、７４００：デジタルサイネージ、７４０１：柱、７４１１：情報端末機、７５５０：情報端末、７５５１：筐体、７５５２：表示部、７５５３：カメラ、７５５４：スピーカ部、７５５５：操作スイッチ、７５５７：マイク、７６６０：情報端末、７６６１：筐体、７６６２：表示部、７６６３：バンド、７６６４：バックル、７６６５：操作スイッチ、７６６６：入出力端子、７６６７：アイコン、８０００：カメラ、８００１：筐体、８００２：表示部、８００３：操作ボタン、８００４：シャッターボタン、８００６：レンズ、８１００：ファインダー、８１０１：筐体、８１０２：表示部、８１０３：ボタン、８２００：ヘッドマウントディスプレイ、８２０１：装着部、８２０２：レンズ、８２０３：本体、８２０４：表示部、８２０５：ケーブル、８２０６：バッテリ、８３００：ヘッドマウントディスプレイ、８３０１：筐体、８３０２：表示部、８３０４：固定具、８３０５：レンズ、８４００：ヘッドマウントディスプレイ、８４０１：筐体、８４０２：装着部、８４０３：緩衝部材、８４０４：表示部、８４０５：レンズ

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