技術分野
パワー半導体モジュール
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、特許文献2に記載のようなパワー半導体素子を用いて、両面放熱構造を有するパワー半導体モジュールを作製した場合には、次のような問題があることが分かった。すなわち、パワー半導体モジュールの小型化(低背化)が求められている。この場合には、パワー半導体素子を介して向かい合う配線同士の間隔が短くなる。さらに、バッテリー電圧の上昇などの要求もあり、向かい合う配線同士により高い電圧がかかるが、このような場合の絶縁破壊を確実に防止する必要がある。一方で、配線同士の空間を、充填材などで埋めようとしても、内部に泡などが発生しやすく、絶縁破壊を十分に防止できない可能性がある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、以下に示すパワー半導体モジュールが提供される。
[1] それぞれ基材および配線を備える、2枚の配線基板と、
2枚の前記配線基板の間に、前記配線同士を接続するように設けられているパワー半導体素子と、を備えるパワー半導体モジュールであって、
前記パワー半導体素子が、
第一面に、第一電極および第二電極を備え、前記第一面の反対側の第二面に、第三電極を備えるパワー半導体チ・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一態様によれば、絶縁破壊を防止できるパワー半導体モジュールを提供できる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の実施形態に用いるパワー半導体素子の一態様を示す概略図である。
【図2】
図1のII-II断面を示す断面図である。
【図3】
本発明の実施形態に用いるパワー半導体素子の一態様を示す断面図である。
【図4】
本発明の第一パワー半導体モジュールを示す断面図である。
【図5】
本発明の第二パワー半導体モジュールを示す断面図である。
【図6】
本発明の第三パワー半導体モジュールを示す断面図である。
【図7】
本発明の第四パワー半導体モジュールを示す断面図である。
1…パワー半導体チップ
11…第一電極
12…第二電極
13…半導体チップ本体
14…第三電極
2…第一接続部材
21…第一導通部
22…第二導通部
23…第一絶縁層
3…第二接続部材
31…第三導通部
32…第二絶縁層
4…封止樹脂層
5…第一配線基板
51…第一基材
52…第一配線
521…凸部
522…凹部
6…第二配線基板
61…第二基材
62…第二配線
621…凸部
7…接合材
8…絶縁膜
9…受動部品
100,100A…パワー半導体素子
200,200A,200B,200C…パワー半導体モジュール
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