特許7931581IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

回転導入機

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

例えば、トランスファチャンバ内で基板を回転して搬送する搬送ロボットなどにおいては、装置そのものの小型化が求められている。特に、ＦＰＤの製造などにおいては、装置の全高を小さくして建屋を低くするためにも、上下方向つまり回転軸方向の小サイズ化が要求されている。同時に、径方向における小型化も要求されている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

（１）本発明の一態様に係る回転導入機は、 空間を隔てる隔壁と、 前記隔壁を貫通して回転駆動力を伝達する回転部材と、 前記隔壁で隔てられた一方の空間に配置されて前記回転部材に駆動力を入力する回転入力部と、 前記隔壁で隔てられた他方の空間に配置されて前記回転部材の回転を規制する回転規制部と、 を備える。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、回転導入機において小型化することができるという効果を奏することが可能となる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明に係る回転導入機の第１実施形態を示す回転軸線と直交する方向視した一部断面を示す側面図である。
【図2】 本発明に係る回転導入機の第１実施形態における回転規制部を示す拡大断面図である。
【図3】 本発明に係る回転導入機の第１実施形態における回転規制部を示す拡大図である。
【図4】 本発明に係る回転導入機の第１実施形態における回転規制部の動きを示す回転軸方向視した模式図である。
【図5】 本発明に係る回転導入機の第１実施形態におけるシール機構を示す拡大断面図である。
【図6】 本発明に係る回転導入機の第１実施形態における回転入力部を示す断面図である。
【図7】 図６のＶＩＩ－ＶＩＩ線における断面図である。
【図8】 本発明に係る回転導入機の第２実施形態を備えた真空処理装置を示す模式図である。
【図9】 本発明に係る真空処理装置の第２実施形態を備えた基板搬送ロボットを示す模式側面図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１０…回転導入機 ２０…シール隔壁（隔壁） ２１…貫通孔 ３０…回転部材 ４０…回転規制部（メカストッパ） ４１…固定部 ４１ｒ…規制面 ４２…規制部 ４２ｒ…規制面 ５０…シール機構 １００…回転入力部（減速機、変速機） ４００…真空処理装置 １０００…真空処理装置 １１００…搬送ロボット ３０００…真空処理装置 Ｆ０…回転軸線 Ａ…第１空間（大気圧空間） Ｖ…第２空間（真空空間）

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