特許 7932096出願番号 特願 2025-70748
蒸着マスクの中間製品の製造方法
出願人 大日本印刷株式会社（識別番号 2897）
2026年 特許公開件数ランキング 30位 548件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 23位 555件（※）
公報発行日 2026年10月8
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7932096 ログイン済みの方はこのURLへ
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技術分野
本開示の蒸着マスク及の中間製品の製造方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
基板に形成される画素の位置精度を決める要因として、基板又はフレームに対する蒸着マスクの位置合わせの精度を挙げることができる。位置合わせの際の蒸着マスクの基準位置としては、例えば、蒸着マスクの外形の輪郭が用いられる。蒸着マスクの輪郭の位置は、例えば、カメラなどを用いて蒸着マスクを撮影することによって検出される。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本開示の第１の蒸着マスクの中間製品の製造方法であって、金属板を加工して、前記金属板に、複数の貫通孔が形成された複数の蒸着マスク部分と、平面視において前記蒸着マスク部分を囲むとともに前記蒸着マスク部分に部分的に接続されている支持部分と、を形成する加工工程と、前記蒸着マスク部分を前記金属板から分離する分離工程と、を備え、前記蒸着マスク部分は、前記貫通孔が形成された第１面及び第２面と、・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本開示の実施形態によれば、蒸着マスクの輪郭を精度良く検出することができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本開示の一実施形態による蒸着マスク装置を備えた蒸着装置を示す図である。
【図2】
図１に示す蒸着マスク装置を用いて製造した有機ＥＬ表示装置を示す断面図である。
【図3】
本開示の一実施形態による蒸着マスク装置を示す平面図である。
【図4】
蒸着マスクを示す斜視図である。
【図5】
図３に示された蒸着マスクの有効領域を示す部分平面図である。
【図6】
図５のVI－VI線に沿った断面図である。
【図7】
図５のVII－VII線に沿った断面図である。
【図8】
図５のVIII－VIII線に沿った断面図である。
【図9】
図５に示す貫通孔およびその近傍の領域を拡大して示す断面図である。
【図10】
図４のX－X線に沿った断面図である。
【図11】
蒸着マスクを第１面側から見た場合を示す平面図である。
【図12】
蒸着マスクを第２面側から見た場合を示す平面図である。
【図13】
蒸着マスクの製造方法の一例を全体的に説明するための模式図である。
【図14】
金属板上にレジスト膜を形成する工程を示す図である。
【図15】
レジスト膜に露光マスクを密着させる工程を示す図である。
【図16】
レジスト膜を現像する工程を示す図である。
【図17】
第１面エッチング工程を示す図である。
【図18】
第１凹部を樹脂によって被覆する工程を示す図である。
【図19】
第２面エッチング工程を示す図である。
【図20】
図１９に続く第２面エッチング工程を示す図である。
【図21】
金属板から樹脂及びレジストパターンを除去する工程を示す図である。
【図22A】
金属板を加工することによって得られた中間製品を示す平面図である。
【図22B】
図２２Ａの中間製品のうち符号XXIIBが付された点線で囲われた領域を拡大して示す図である。
【図23】
蒸着マスク部分を支持部分から分離する工程を示す図である。
【図24】
中間製品から得られた蒸着マスクを拡大して示す平面図である。
【図25】
蒸着マスク装置を作製する工程を示す図である。
【図26】
蒸着マスクの長側面の一変形例を示す断面図である。
【図27】
実施例１に係る蒸着マスクの長側面の断面の観察結果を示す図である。
【図28A】
図２７に示す蒸着マスクを第１面側から観察した結果を示す図である。
【図28B】
図２７に示す蒸着マスクを第２面側から観察した結果を示す図である。
【図29A】
実施例２に係る蒸着マスクの長側面の断面の観察結果を示す図である。
【図29B】
図２９Ａに示す長側面の第２部分を拡大して示す断面図である。
【図30】
実施例３に係る蒸着マスクの長側面の断面の観察結果を示す図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１０ 蒸着マスク装置
１５ フレーム
２０ 蒸着マスク
２０ａ 第１面
２０ｂ 第２面
２１ 基材
２２ 有効領域
２３ 周囲領域
２５ 貫通孔
２６ 長側面
２６１ 第１部分
２６２ 第２部分
２７ 短側面
３０ 第１凹部
３１ 壁面
３５ 第２凹部
３６ 壁面
４１ 孔接続部
４３ トップ部
５０ 中間製品
５１ 蒸着マスク部分
５４ 接続箇所
５５ 隙間
５６ 支持部分
６４ 金属板
６５ａ 第１レジストパターン
６５ｂ 第２レジストパターン
６５ｃ 第１レジスト膜
６５ｄ 第２レジスト膜
７０ 加工装置
７２ 搬送ローラー
７３ 分離装置
９０ 蒸着装置
９２ 有機ＥＬ基板
９８ 蒸着材料
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